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極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
詳細(xì)介紹
高低溫真空探針臺(tái)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
UOTEST DCH-196 探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在高低溫環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備?？梢栽谡婵盏沫h(huán)境中提供 -196 度的極低溫度，在特殊材料，半導(dǎo)體器件等方向具有廣泛運(yùn)用。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
? 防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)
? 液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共 同控制溫度
? 降溫速度快，常溫降至 77k<25mins，大大提高測(cè)試效率
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高低溫真空探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：
產(chǎn)品類型 | 低溫開循環(huán) | 低溫閉循環(huán) | |
型號(hào) | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100kg | 約150kg | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺(tái)尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì) | ||
溫控系統(tǒng) | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機(jī) |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩(wěn)定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(yōu)于25mins | 常溫降到10k優(yōu)于180mins | |
控制方式 | 液氮自動(dòng)流量控制 | 壓縮機(jī)控制 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動(dòng)范圍 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | ||
探針臂 | 探針臂數(shù)量 | 最多6個(gè) | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
探針直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可選 | ||
材質(zhì) | 鎢鋼，鈹銅 | ||
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤，氣敏測(cè)試組件等 | ||
應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等 | ||
產(chǎn)品特點(diǎn) | 防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì) | ||
液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度 | |||
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測(cè)試效率 | |||
優(yōu)測(cè)國(guó)芯電子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半導(dǎo)體和自動(dòng)化設(shè)備綜合解決方案的自主創(chuàng)新型技術(shù)企業(yè)。我們集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)于一體，不僅擁有*的生產(chǎn)設(shè)備、加工工藝及品質(zhì)檢測(cè)體系，也擁有涉及材料、物理、化學(xué)、微電子、機(jī)械等專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。現(xiàn)在主營(yíng)的產(chǎn)品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動(dòng)探針臺(tái)、高壓大功率探針臺(tái)、真空高低溫探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)，全自動(dòng)探針臺(tái)等，可以完成I-V/C-V測(cè)試，脈沖I-V測(cè)試，RF/mmW測(cè)試，高壓、大電流測(cè)試，MEMS、光電器件等測(cè)試。專業(yè)的設(shè)計(jì)人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)、太陽(yáng)能發(fā)生器、多普勒測(cè)試儀、積分球等，在常規(guī)探針臺(tái)功能上進(jìn)行延伸拓展來(lái)滿足不同客戶的測(cè)試需求。
