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RTF1200轉動式PECVD系統(tǒng)

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更新時間:2022-03-31 15:53:37瀏覽次數:557

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產品簡介

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 環(huán)保,化工,石油,電氣
RTF1200轉動式PECVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

詳細介紹

RTF1200轉動式PECVD系統(tǒng)介紹:
(1)、表面溫度高可達1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。  

(3)、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com  

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好  

RTF1200轉動式PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出  

1、真空吸濾成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。  

2、采用日本技術成型。  

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場  

4、采用4周加熱,溫場更加均衡  

1.為了增加抽氣速率,達到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口(VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25)  

2.如用于供氣系統(tǒng),可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.  

3.轉動電機功率:40W  

4.電動推桿功率:40W  

5.爐子傾斜角度:-10~30度  

6.爐管轉動速率:采用無級變速電機轉速可在1-25轉/min之間可調  

7.轉動密封方式:采用轉動磁流體密封  

8.四周表面溫度:≤45℃

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