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目錄:廈門韞茂科技有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>>原子層沉積設(shè)備>> Mini Desktop ALD桌面式原子層沉積系統(tǒng)

桌面式原子層沉積系統(tǒng)
  • 桌面式原子層沉積系統(tǒng)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) Mini Desktop ALD
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 廈門市
屬性

價(jià)格區(qū)間:50萬-100萬 應(yīng)用領(lǐng)域:綜合

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更新時(shí)間:2024-08-22 13:14:20瀏覽次數(shù):2422評(píng)價(jià)

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價(jià)格區(qū)間 50萬-100萬 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
桌面式原子層沉積系統(tǒng)ALD(Atomic layer deposition)是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無針孔、高保形的納米薄膜。
    一、核心參數(shù):

    價(jià)格區(qū)間:10萬-50萬

    產(chǎn)地類別:國產(chǎn)原子層沉積系統(tǒng)(ALD)

    襯底尺寸:4寸

    工藝溫度:RT-300℃

    前驅(qū)體數(shù):4組液態(tài)或固態(tài)前驅(qū)體

    重量:40KG

    尺寸(WxHxD):500*400*400mm

    均勻性:99.9%

    二、原子層沉積(Atomiclayerdeposition)是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)腔體內(nèi)并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應(yīng)用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無針孔、高保形的納米薄膜。

    三、桌面式原子層沉積系統(tǒng)ALD產(chǎn)品描述:

    廈門韞茂科技公司研發(fā)的超小型桌式ALD原子層沉積設(shè)備是*材料研究的有力設(shè)備之一,它可以在4寸晶元(向下兼容)和微納米粉體上實(shí)現(xiàn)均勻可控的原子層沉積,具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,設(shè)各配有獨(dú)立控制的300℃完整加熱反應(yīng)腔室系統(tǒng),保證工藝溫度均勻,該系統(tǒng)具有粉末樣品桶、晶元載盤,全自動(dòng)溫控制、ALD前驅(qū)體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級(jí)安全控制,以及現(xiàn)場RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱等設(shè)計(jì)選項(xiàng),是*能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應(yīng)用的最佳研發(fā)工具

    四、廈門韞茂科技有限公司為您提供桌面式原子層沉積系統(tǒng)ALD的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息,產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂,型號(hào)為MiniDesktopALD,價(jià)格為50萬RMB,更多相關(guān)信息可咨詢,公司客服電話7*24小時(shí)為您服務(wù)。

    五、售后服務(wù):

    保修期:1年

    是否可延長保修期:否

    現(xiàn)場技術(shù)咨詢:有

    免費(fèi)培訓(xùn):1.設(shè)備出廠前,提供至少2人一周的設(shè)備原廠培訓(xùn)。2.設(shè)備在現(xiàn)場完成安裝調(diào)試

    免費(fèi)儀器保養(yǎng):有需要可安排

    保內(nèi)維修承諾:保修期內(nèi)(除天災(zāi)和人為損害外)部件、元件費(fèi)用、出差費(fèi)用均由我司承擔(dān)

    報(bào)修承諾:質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時(shí)我司將及時(shí)響應(yīng),并在8小時(shí)內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場解決故障

    六、技術(shù)參數(shù):

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