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目錄:廈門韞茂科技有限公司>>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>>磁控測(cè)射系統(tǒng)>> QBT-P雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)

雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)
  • 雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) QBT-P
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 廈門市
屬性

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更新時(shí)間:2024-08-22 13:39:41瀏覽次數(shù):1753評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
樣品臺(tái)尺寸 4寸mm 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)QBT-P配備進(jìn)樣室及濺射腔室,濺射室配備離子刻蝕功能,腔室內(nèi)配備超高真空傳輸,設(shè)備真空度≤3E-9Torr,基板加熱900℃,可制備超導(dǎo)Ta/TiN/NbN/Al/Nb等薄膜

一、雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)核心參數(shù):  


儀器種類:磁控濺射 

產(chǎn)地類別:國(guó)產(chǎn)  

應(yīng)用領(lǐng)域:微電子學(xué)  

基片尺寸:4寸(可定制)  

靶材:鉭  

基片溫度范圍:RT-900oC  

成膜厚度均勻性:基板刻蝕均一性<3%  

極限真空:極限真空UltimatePressure<3E-9Torr  


二、磁控濺射技術(shù)原理:  

在陰極靶的表面上方形成一個(gè)正交電磁場(chǎng)。當(dāng)濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區(qū)內(nèi)被加速為高能電子后,并不直接飛向陽(yáng)極,而是在正交電磁場(chǎng)作用下作來(lái)回振蕩的近似擺線的運(yùn)動(dòng)。高能電子不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并向后者轉(zhuǎn)移能量,使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子最終沿磁力線漂移到陰極附近的輔助陽(yáng)極而被吸收,避免高能電子對(duì)極板的強(qiáng)烈轟擊,消除了二級(jí)濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷,體現(xiàn)出磁控濺射中極板“低溫"的特點(diǎn)。由于外加磁場(chǎng)的存在,電子的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)增加了電離率,實(shí)現(xiàn)了高速濺射。  


三、雙腔室超高真空磁控濺射系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn):  

成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好 


四、售后服務(wù):  

保修期:1年  

是否可延長(zhǎng)保修期:否  

現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)咨詢:有  

免費(fèi)培訓(xùn):1.設(shè)備出廠前,提供至少2人一周的設(shè)備原廠培訓(xùn)。2.設(shè)備在現(xiàn)場(chǎng)完成安裝調(diào)試  

免費(fèi)儀器保養(yǎng):有需要可安排  

保內(nèi)維修承諾:保修期內(nèi)(除天災(zāi)和人為損害外)部件、元件費(fèi)用、出差費(fèi)用均由我司承擔(dān)  

報(bào)修承諾:質(zhì)保期內(nèi)出現(xiàn)故障時(shí)我司將及時(shí)響應(yīng),并在8小時(shí)內(nèi)派技術(shù)人員到現(xiàn)場(chǎng)解決故障;  


五、技術(shù)參數(shù):  

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六、工藝展示:

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