GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；

GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設(shè)定的電壓進行比較,用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

產(chǎn)品應(yīng)用:

玻璃行業(yè)、太陽能、大氣監(jiān)測、工業(yè)制作、石油石化、煤炭冶金、制氣配氣、環(huán)保、各種儀器分析

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質(zhì)量流量計/控制器(低量程)技術(shù)參數(shù):

技術(shù)指標(biāo)GRYLLS-5950系列-FC質(zhì)量流量控制器/GRYLLS-5950系列-FM 質(zhì)量流量計

格里爾斯GRYLLS-5950系列模擬式質(zhì)量流量計量程范圍5SCCM ~ 30SLM

準(zhǔn)確度±1.0%F.S

溫度:±1℃

線性±0.5%F.S

重復(fù)精度±0.2%F.S

響應(yīng)時間<2s<1.5s

模擬量0 ~ 5V、4 ~ 20mA

供電±15VDC,24VDC

工作溫度0 ~ 50℃

工作壓力工作壓差:0.05 ~ 0.5MPa工作壓降:<30Kpa

*耐壓3MPa/10MPa

電氣連接DB15 孔

漏率1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)±0.015%F.S/℃

底座材質(zhì)316L

密封材質(zhì)氟橡膠,氯丁橡膠,丁腈橡膠

接頭φ3,φ6,1/8",1/4"