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菲希爾X射線測(cè)厚儀鍍金層儀器

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ特點(diǎn)

功能強(qiáng)大的高級(jí)型號(hào)，用于最小結(jié)構(gòu)和小于 0.1 µm 的最薄涂層的精確涂層厚度測(cè)量和材料分析

帶鎢靶的微聚焦射線管；可選鉬靶

4種可切換的濾波器

極其強(qiáng)大的硅漂移探測(cè)器，有效面積為20 mm2或50 mm2，可實(shí)現(xiàn)最高精度的薄膜檢測(cè)

內(nèi)部制造的多毛細(xì)管光學(xué)元件，最小的測(cè)量點(diǎn)可低至 10μm FWHM，測(cè)量時(shí)間短，強(qiáng)度高

數(shù)字脈沖處理器DPP+，用于提高計(jì)數(shù)率，減少測(cè)量時(shí)間或提高測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性

分析從 Al(13) 到 U(92) 的元素，可提供氦氣吹掃，可同時(shí)測(cè)量多達(dá)24種元素

高精度、可編程的 XY 平臺(tái)，定位精度 < 5 µm，可實(shí)現(xiàn)的樣品定位和自動(dòng)圖案識(shí)別，實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度

典型的應(yīng)用領(lǐng)域

在非常小的平面元件和結(jié)構(gòu)上進(jìn)行測(cè)量，如印刷電路板、觸點(diǎn)或引線框架

測(cè)量電子和半導(dǎo)體工業(yè)的功能涂層

分析非常薄的涂層，例如，≤0.1微米的金/鈀涂層

測(cè)定復(fù)雜的多涂層結(jié)構(gòu)

自動(dòng)測(cè)量，例如在質(zhì)量控制中

磁性探頭型號(hào)：FGAB1.3-150

內(nèi)部測(cè)量探頭帶微處理芯片。彈性測(cè)量系統(tǒng)帶紅寶石尖。適合于直徑 9mm以上的孔。手柄至測(cè)量頭的長(zhǎng)度為 150mm ,等于管子端部到測(cè)量點(diǎn)的 距離。

電纜長(zhǎng)度： 1.5m  ( 5’)

測(cè)量范圍：0 - 800um（NF/Fe)——0 - 32 mils

測(cè)量誤差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%

渦流探頭型號(hào)：FAI3.3-150

內(nèi)部測(cè)量探頭帶微處理芯片。彈性測(cè)量系統(tǒng)帶紅寶石尖。適合于直徑 9mm以上的孔。手柄至測(cè)量頭的長(zhǎng)度為 150mm ,等于管子端部到測(cè)量點(diǎn)的 距離。

電纜長(zhǎng)度： 1.5m  ( 5’)

測(cè)量范圍：-0 - 800um（ISO/NF)——0 - 32 mils

測(cè)量誤差：-0-200um：1um——200-800um：0.5%