美國INSTRUTECH真空計(jì)CCM501技術(shù)參數(shù)

美國INSTRUTECH真空計(jì)CCM501系列

InstruTech公司位于美國的科羅拉多州，是致力于真空測量和控制儀器的設(shè)計(jì)、制造和服務(wù)的公司。InstruTech公司的真空計(jì)采用的真空技術(shù)設(shè)計(jì)，可以提供2.00E-11 Torr到1000 Torr的測量范圍。InstruTech公司的真空計(jì)和真空控制器系列產(chǎn)品包括：增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)，熱陰極電離真空計(jì)（hot cathode Bayard-Alpert）和冷陰極雙控磁電離真空計(jì)。InstruTech公司的理念是提供多功能，高可靠性的高真空計(jì)。因此，InstruTech所提供的真空計(jì)及真空控制器大程度上節(jié)約了成本，從而提高產(chǎn)品的。InstruTech真空計(jì)主要用于：半導(dǎo)體制備、薄膜沉積、數(shù)據(jù)存儲設(shè)備制造、和學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)、分析化學(xué)、真空加工、工業(yè)中。

真空計(jì)（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中使用。

產(chǎn)品型號：CCM501CD

關(guān)鍵字：Hornet冷陰極微型電離真空計(jì)，雙反轉(zhuǎn)磁控。

關(guān)鍵字描述：傳感器可以很容易地拆卸清洗，帶有明亮OLED數(shù)字顯示的內(nèi)置控制器。

產(chǎn)品介紹：

測量范圍從1.00E-09到1.00E-02 Torr

帶有明亮OLED數(shù)字顯示的內(nèi)置控制器

用戶可編程的顯示單位，單位為Torr，mbar或Pa

雙反磁控管技術(shù)提供更高的靈敏度

傳感器可以很容易地拆卸清洗

1個(gè)模擬量輸出，1個(gè)設(shè)定值繼電器

RS485串行通信

CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

CCM501 Hornet是InstruTech的微型冷陰極雙反磁控電離真空計(jì)模塊，內(nèi)置控制器和顯示器。CCM501的壓力測量范圍為1.00E-09至1.00E-02 Torr。CCM501可提供各種配件，包括NW16KF，NW25KF，NW40KF，1/3英寸迷你型，2 3/4英寸Conflat和1英寸O.D. 管（O形圈壓縮）。

參數(shù)：

測量范圍：1×10-9至1×10-2Torr / 1.3×10-9至1.3×10-2mbar/ 1.3×10-7至1.3Pa

準(zhǔn)確性 - N2（典型值）：1 x 10-8至1 x 10-2 Torr; 讀數(shù)的±30％

重復(fù)性 -（典型）：讀數(shù)的±5％

顯示：明亮的OLED顯示屏，2位數(shù)加1位指數(shù)，用戶可選Torr，mbar或Pa

暴露于氣體的材料：304不銹鋼，陶瓷，Viton O形圈

靈敏度：工廠預(yù)設(shè)為10 Torr-1（用戶也可以在2到99之間調(diào)整）

超壓保護(hù)：在出廠默認(rèn)設(shè)置為1 x 10-2 Torr

內(nèi)部儀表容量：1.965 in3（32.2 cm3）時(shí)關(guān)閉

操作溫度：0℃至+ 40℃

儲存溫度：-40℃至+70℃

烘烤溫度：150 ℃（限傳感器 - 電子部件已拆除）

磁鐵安裝時(shí)不超過5小時(shí)

外殼（電子）：鋁型材

安裝方向：任何

濕度：為0至95％相對濕度，無冷凝

重量：1.7磅（0.77千克），帶有NW25 KF法蘭