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靜電卡盤
在半導體和液晶面板制造過程中，真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進行處理。然而，由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求，利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當今一代半晶圓設(shè)備中以克服這些限制。

靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成，這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。

原裝spellman靜電卡盤夾具

靜電卡盤

在半導體和液晶面板制造過程中，真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進行處理。然而，由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求，利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當今一代半晶圓設(shè)備中以克服這些限制。原裝spellman靜電卡盤夾具

靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成，這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。

靜電卡盤有2種類型：Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (J-R) 類型。它們的區(qū)別在于它們的介電特性，因此為產(chǎn)生夾緊力的方式。Coulomb卡盤的功能類似于傳統(tǒng)的介電電容器。原裝spellman靜電卡盤夾具
J-R 型電阻大但有限，因此當表面緊密接觸并施加電壓時，電流會流過它和基板。電荷積聚在基板和電介質(zhì)之間的界面，提供夾持力。
此外，夾頭上電極（或極點）的不同配置用于獲得不同的特性。可根據(jù)應用提供單極、雙極（兩極）和多極卡盤（包括 6 相六極類型）。

Spellman 可為全系列電子卡盤提供電源，其功能包括：

高壓雙極輸出（正/負），
輸出極性反轉(zhuǎn)功能，使晶圓夾持/脫夾持更容易，127 / 5000
通過電容測量（Coulomb卡盤）或電流測量（J-R 卡盤）檢測晶片狀態(tài)的能力，
模擬和數(shù)字接口，可輕松集成到各種系統(tǒng)中，
高可靠性，機械繼電器自由設(shè)計。

斯派曼提供廣泛的設(shè)計知識和制造能力，因此可以提供廣泛的定制產(chǎn)品以滿足各種要求。根據(jù)應用，這可能還包括諸如高壓偏置/偏移和 R.F. 過濾

靜電卡盤

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