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MKS ASTRON2L RPS 半導體遠程等離子源是在半導體產(chǎn)線沉積和蝕刻室清潔工藝中的發(fā)揮關(guān)鍵作用的子組件,可以消除工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命...
MKS 遠程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件,消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命,并減少薄膜污...
MKS 遠程等離子體源 ASTRON HF 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件,消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚,增加工藝工具的壽命,并減少薄膜污染的...
MKS Revolution RPS AX7690 遠程等離子源是一款能為半導體芯片加工提供所需的高性能和清潔的活性氣體源的集成式遠程等離子體源。
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