江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
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當(dāng)前位置:江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>射頻電源(RF)>>AE APEX Series>> AE APEX 1513射頻電源 APEX 1513 13.56MHz 1500W

射頻電源 APEX 1513 13.56MHz 1500W

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號AE APEX 1513

品       牌Advanced Energy/優(yōu)儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地揚(yáng)州市

更新時(shí)間:2023-11-24 13:10:00瀏覽次數(shù):365次

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供貨周期 現(xiàn)貨 貨號 3156110-008
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
型號 APEX?1513 M/N 3156110-008
P/N 660-032596-023 頻率 13.56MHz
設(shè)備狀態(tài) Refurblished
AE 射頻電源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 靈活通用,AE Apex Series射頻發(fā)生器和電源系統(tǒng)采用緊湊的模塊化設(shè)計(jì),適用于真空腔室安裝。Apex 射頻發(fā)生器和電源系統(tǒng)運(yùn)用成熟可靠的射頻轉(zhuǎn)換技術(shù),提高產(chǎn)品和工藝可靠性。高密度功率使其成為*等離子體工藝的理想選擇。具有各種通信模型和可配置功能,使您能夠很方便地完成平臺的定制以及集成方法的開發(fā)。

AE 射頻電源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 射頻發(fā)生器功率密度高,能夠?qū)崿F(xiàn)緊湊型安裝。在空間有限但性能至關(guān)重要的情況下,簡化版APEX Series 射頻發(fā)生器能為客戶提供值得信賴的各種安裝選項(xiàng)和功率。

AE APEX Series 射頻發(fā)生器可以適配腔室、機(jī)架或框架等安裝選項(xiàng),在提供方便的同時(shí)還可以降低功率損耗。全系列RF Generator 有優(yōu)秀的電弧管理能力,在13.56Mhz頻率下,可選擇1.5KW~10KW不同輸出功率的設(shè)備。


技術(shù)參數(shù)

Power Level : 1.5, 3, and 5.5 kW

Frequencies : 13 MHz

Available Interfaces : RS-232, 25-pin analog, Ethernet, DeviceNet

AC Input : 208 VAC

Line Frequency : 50/60 Hz

Cooling : Water

Ambient Air Temperature Range : +5 to +40°C

Cooling Water Temperature Range : +5 to +35°C

Advanced Features : Pulsing, CEX


AE 射頻電源 APEX 1513 13.56MHz 1500W RF Generator 射頻發(fā)生器

優(yōu)點(diǎn):

  1. 靈活性提高,可直接集成工藝機(jī)臺

  2. 等離子操作穩(wěn)定化

  3. 提高快速電弧管理的良品率

  4. 易于根據(jù)客戶的工藝要求進(jìn)行定制和配置


特點(diǎn):

  1. 流線型設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)大功率密度

  2. 可選腔室安裝、工具框架安裝、機(jī)架安裝和鞋盒式安裝

  3. 寬帶控制回路

  4. 可選脈沖控制

  5. 高速電弧管理


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