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MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射頻電源 是MKS具有高可靠性的射頻等離子發(fā)生器，GHW 系列射頻發(fā)電機(jī)在 13.56 MHz 的頻率下提供不同額定輸出功率的設(shè)備選擇。該系列設(shè)備非常適用于集成電路、平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造過程中的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD)、高密度等離子 CVD (HDPCVD)、蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。

MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W

規(guī)格

類型：GHW 系列 13.56 MHz 射頻等離子發(fā)生器

頻率：13.56MHz ±0.005%

AC輸入：200-208V，3/PE~3W+G，38A，50-60Hz

輸出功率：GHW-55A：5500 W          

負(fù)載阻抗范圍：無限

射頻穩(wěn)定性/雜散輸出：無條件穩(wěn)定運(yùn)行限制內(nèi)的任何負(fù)載 < -45dBc

諧波輸出和失真：< -40dBc

射頻連接器：N型

界面：標(biāo)準(zhǔn)：RS-232 Subminiature Type-D 9 針數(shù)字；可選的自定義接口卡可用。

讀出：數(shù)字讀數(shù)顯示頻率和正向、反射和負(fù)載功率。

機(jī)架安裝：提供 EIA（標(biāo)準(zhǔn)）19 英寸適配器

冷卻系統(tǒng)：水流為7.5L/min，水溫5℃~35℃，水壓413kPa / 60psi