COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW 返回列表頁

COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供優(yōu)秀的脈沖品質，穩(wěn)定性及功率投射準確性，使其不僅對于非半導體的應用，同時對于如等離子沉積及蝕刻等的半導體類應用來說也是可靠的選擇。COMET cito Series 可以長時間穩(wěn)定運行，故障率低，能夠在提高產能的同時降低運行成本。

COMET cito Series 高頻射頻電源 優(yōu)點

1.具有更好的等離子穩(wěn)定性，可確保工藝的重復性

2.具有高筑波比的理想脈沖波形

3.具有更精確的功率輸出，可對等離子工藝進行更精確的控制

4.對于電纜長度的低敏感性可使其更易于與設備整合

5.具有更高的工作效率及更低的使用成本

COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW 射頻發(fā)生器 規(guī)格

型號：cito-1370-WC7B-P37A-FF

AC輸入：400~480V，3phase，50/60Hz，3x22A @400V

RF輸出：7000W，13.56MHz，837V，50 Ohm

通信接口：RS232，Ethernet，DB25 Analog/Digital，9-pin matching bus

安裝機架：標準19英寸機架裝配