AE Paramount Series 射頻發(fā)生器是面向業(yè)界前沿核心等離子體應(yīng)用的可重復(fù)利用的電源。Paramount Series 射頻功率發(fā)生器集頻率調(diào)諧、脈沖和全數(shù)字控制于一身。

AE Paramount Series 射頻發(fā)生器采用全數(shù)字控制可動(dòng)態(tài)響應(yīng)等離子體變化，實(shí)現(xiàn)控制優(yōu)化和同步的高級(jí)功能。全系列設(shè)備的頻率范圍從400KHz~60MHz，功率范圍從1.5KW~10KW。

AE Paramount Series 射頻發(fā)生器可提供寬頻率和功率范圍，支持多種集成場(chǎng)景，并配備標(biāo)準(zhǔn)串行或模擬接口。AE PARAMOUNT 3013 射頻電源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW RF Generator 關(guān)注設(shè)備操作的靈活性和應(yīng)用平臺(tái)的通用性。全系列平臺(tái)采用數(shù)字架構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)精密的電源管理和優(yōu)化新功能的集成，無(wú)需研制周期或硬件更改。該平臺(tái)通過(guò)實(shí)時(shí)檢測(cè)等離子體的變化，實(shí)現(xiàn)大功率輸出和可重復(fù)性能。內(nèi)部保護(hù)限值還可確保操作穩(wěn)定可靠。

AE PARAMOUNT 3013 射頻電源 Paramount 3013 13.56MHz 3KW RF Generator

優(yōu)點(diǎn)

1. 提高等離子體穩(wěn)定性和工藝可重復(fù)性

2. 精密控制射頻功率

3. 快速響應(yīng)等離子體變化

4. 易于調(diào)整滿足特定應(yīng)用需求

   
   

特點(diǎn)

1. 全數(shù)字控制

2. 頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步

3. 實(shí)時(shí)功率和阻抗測(cè)量

4. 電弧管理

5. 相位同步（CEX）