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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,綜合 |
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軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。
軟X射線分析譜儀系統(tǒng)簡介
最新開發(fā)設(shè)計的分光系統(tǒng)，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖
SXES、WDS、EDS的比較
各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖
即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。
比較表
| 特征 | SXES | EPMA(WDS) | EDS |
| 分辨率 | 0.3 eV (費(fèi)米邊處 Al-L) | 8 eV (FWHM@Fe-K） | 120-130 eV (FWHM@Mn-K） |
| 化學(xué)結(jié)合狀態(tài)分析 | 可以 | 可以(主要是輕元素) | 不可以 |
| 并行檢測 | 可以 | 不可以 (但分光譜儀臺數(shù)范圍即可) | 可以 |
| 分光晶體和檢測器 | 衍射光柵＋CCD | 分光晶體＋正比計數(shù)管 | SDD |
| 檢測器冷卻 | 珀爾帖冷卻 | 不需要 | 珀爾帖冷卻 |
| 檢測限(以B作為參考值) | 20ppm | 100ppm | 5000ppm |
鋰離子二次電池（LIB）分析實(shí)例
能觀察到LIB的充電量
充滿電后Li-K樣品的譜圖
說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
輕元素的測試實(shí)例
SXES測試碳素化合物的實(shí)例
可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。
各種氮素化合物的測試實(shí)例
氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的波形。
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