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| 樣品臺(tái)尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 | 樣品臺(tái)行程 | XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào) |
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)位移精度 | 3μm | 背電極測(cè)試功能 | 可引出背電極 |
| 樣品臺(tái)真空吸附 | 進(jìn)口無(wú)油真空泵，7L/min | 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 |
| 樣品臺(tái)定制化 | 可定制（尺寸/材質(zhì)/鍍金/背光） | 探針座行程 | XYZ三軸13mm |
| 探針座調(diào)節(jié)精度 | 3μm | 探針座固定方式 | 可調(diào)磁力吸附（可選配真空吸附，螺絲固定） |
| 接口形式 | 香蕉插頭、鱷魚(yú)夾、BNC、SMA、N同軸接口/三同軸接口 | 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡（可升級(jí)金相顯微鏡） |
| 放大倍數(shù) | ~200倍（最大可升級(jí)到~1000倍） | CCD | 2000W高清彩色相機(jī) |
| 顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm | 探針座數(shù)量 | 標(biāo)配 3 個(gè) |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹
TLRH系列 譜量光電 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；
. 最大可用于12寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試;
.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3um，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；
. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試；
. 滿(mǎn)足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線(xiàn)性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);
. 加寬探針?lè)胖眉?，可放?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；
. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。
模塊介紹
精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)圖片
詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說(shuō)明
選型表
相關(guān)配件
多種精度，多種夾具類(lèi)型探針座
同軸線(xiàn)纜，三同軸線(xiàn)纜
各種類(lèi)型探針
真空泵
電學(xué)測(cè)試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、測(cè)量表面電阻率測(cè)試、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套譜量光電 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性?xún)r(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢(xún)。