LMT-H系列高分辨二維材料轉移系統(tǒng)是我司根據(jù)客戶應用，自主研發(fā)的低維材料異質結器件轉移產(chǎn)品，適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點轉移，以及多層范德華異質結的制備，實現(xiàn)了低維材料轉移的可視化操作。轉移系統(tǒng)由高分辨金相顯微系統(tǒng)、精確控溫系統(tǒng)、真空吸附系統(tǒng)、高精度四軸樣品臺及五軸襯底載物臺等組成，目標襯底載物臺可面內大角度旋轉，是研究異質結特性、空間反演對稱性破缺、以及二維材料不同堆疊方式影響的有力工具。
技術優(yōu)勢：
集成化設計，易操作
高分辨金相成像，實現(xiàn)μm級尺度轉移
高位移精度，無回程差設計
精確控溫模塊，適用多種材料
應用領域：
魔角超導
二維材料堆疊
范德華異質結制備
異質結空間反演對稱性破缺
| 參數(shù) | 指標 |
|---|
| 襯底載物平臺 | XY方向兩軸手動平移，臺面60mm x 60mm，行程25mm，調節(jié)精度優(yōu)于2μm；繞Z軸旋轉調節(jié)，臺面φ85mm，360°粗調，±5°精調，可視分辨率優(yōu)于0.8′；水平傾斜調節(jié)，臺面60mm x 60mm，調節(jié)范圍±2°，最小調整量5′；真空吸附加熱樣品臺，高溫~240℃,PID溫控器，控溫精度優(yōu)于±0.1℃，高熱導率加熱臺面，帶散熱冷卻模塊，升降溫速度快。 |
| 載玻片位移平臺 | XYZ方向三軸手動平移，臺面80mm x 80mm，行程25mm，調節(jié)精度優(yōu)于2μm；繞Z軸旋轉調節(jié)，臺面φ110mm，360°粗調，±5°精調，可視分辨率優(yōu)于0.57′，定制高穩(wěn)定載玻片夾具，裝夾方便。 |
| 高分辨金相顯微鏡 | 雙目鏡SWH10X/25mm, 0.65倍CTV, 明場長軸照明器，五孔物鏡轉盤，標配5X、10X、50X復消色差長工作距離物鏡，10X、100X可選，預留濾光及偏光插槽，帶光闌調節(jié)通光量及視野大小，高穩(wěn)定調焦機構，成像質量優(yōu)異，適用μm級樣品定點精確轉移。 |
| 顯微鏡二維調節(jié) | 顯微鏡整體XY二維滑片，行程50mm，精度高≥2μm，可在二維材料貼合之后，大范圍調整顯微鏡觀察視野。 |
| 成像相機 | 1200萬像素高靈敏度彩色數(shù)字相機，高清成像，提供相機操作軟件。 |
| 高清顯示器 | 24英寸2K高清顯示器，配置高穩(wěn)定方向調節(jié)支架。 |
| 集成式電控機箱 | 系統(tǒng)電控集成，控制樣品臺加熱、冷卻模塊、溫控模塊、真空吸附。 |
| 真空泵 | 吐出空氣量7L/min，達到真空度-33.3Kpa，耐用時間超過10000小時。 |
| 選配功能 | 探針臺模塊、光學隔振平臺、PDMS熱釋薄膜、二維材料（機械剝離器、塊材）、物鏡（10X、100X）、電動調節(jié)模塊、手套箱環(huán)境使用等。 |
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