超聲波影像裝置

FineSAT Ⅴ超聲波影像裝置介紹：

測定時(shí)間至多縮短25%*2通過超聲波高精度、高速檢查半導(dǎo)體、電子零部件。

提供利用超聲波的反射、穿透特性非破壞檢測半導(dǎo)體、電子零部件內(nèi)部的細(xì)微結(jié)構(gòu)、缺陷并將其轉(zhuǎn)換為圖像的裝置——“FineSAT 系列"。

為了應(yīng)對近年來的需求高度化，強(qiáng)化以往機(jī)型“FineSAT Ⅲ"的功能，開發(fā)了能進(jìn)行更高精度、更高速的測定、檢查的“FineSAT Ⅴ"。

“FineSAT Ⅴ"將獨(dú)自開發(fā)的數(shù)據(jù)處理軟件、為高速處理大量數(shù)據(jù)而新采用的64bit處理系統(tǒng)和高速、高精度掃描儀組合在一起，縮短了檢查、解析時(shí)間。

特點(diǎn)：

超聲波影像裝置FineSAT Ⅴ采用提高了解析能力的64bit處理系統(tǒng)。標(biāo)準(zhǔn)配置可保存、處理4億點(diǎn)超聲波測定的數(shù)據(jù)，選購配置*1時(shí)，可保存、處理20億點(diǎn)超聲波測定的數(shù)據(jù)。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時(shí)，對8英寸的晶圓進(jìn)行1次測定并轉(zhuǎn)換成圖像時(shí)的*小測定間距為40 µm，而現(xiàn)在使用FineSAT Ⅴ，標(biāo)準(zhǔn)配置能以20 µm的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，選購配置時(shí)，能以10 µm以下的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細(xì)測定。 另外，還可進(jìn)行支持高精度解析、評價(jià)的多種圖像顯示。

掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時(shí)間 測定晶圓等大樣品時(shí)，掃描儀的掃描速度對測定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測定時(shí)間縮短了25%*2。 除了加減速時(shí)，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。

考慮了設(shè)置場所、作業(yè)性的裝備 考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時(shí)，作為門的選購件，還準(zhǔn)備了防靜電型透明板，提高了防塵性。 為了設(shè)置樣品、維護(hù)設(shè)備時(shí)可順暢拆裝臺面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。 本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。 本體電源ON就可進(jìn)行升降機(jī)的升降操作。不用啟動FineSAT軟件就可動作。 標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內(nèi)的探頭時(shí)，要用鼠標(biāo)或鍵盤操作顯示器畫面內(nèi)的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進(jìn)行微調(diào)整。 配備23英寸顯示器，大幅提高數(shù)據(jù)解析等的視認(rèn)性、作業(yè)性。 可選擇雙顯示器。 *1GUIPC為選購件的情況。 *2與本公司以往機(jī)型相比，因條件而有所不同。 *3因測定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。

功能：采用的64bit處理系統(tǒng)，大幅強(qiáng)化解析功能。

FineSAT Ⅴ規(guī)格：

■ 高分辨率波形顯示 能將超聲波的測定時(shí)間單位設(shè)定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細(xì)微化、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。
■ 多焦點(diǎn) 通過掃描時(shí)連續(xù)改變焦點(diǎn)位置的功能，1次測定就可獲得對焦不同的多個(gè)深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。
■ 多閘門縮略圖顯示 對于通過多閘門測定的多個(gè)不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉(zhuǎn)換為容易選擇的一覽顯示。 縮略圖圖像可單獨(dú)變更調(diào)色板。
■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊) 可重疊顯示通過反射法/透射法同時(shí)測定取得的2個(gè)圖像。另外，對于顯示的圖像，可調(diào)整透明度，所以可設(shè)定為容易判斷的圖像。 ■ 作為選購件，準(zhǔn)備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件 可與圖像銳化軟件（對超聲波信號劣化進(jìn)行補(bǔ)正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統(tǒng)計(jì)處理）等高度的解析軟件組合。 ■ 追隨掃描功能 這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。 掃描時(shí)可追隨被檢體的表面。