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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機。根據(jù)您的要求，機器人自動搬運、自動測定、自動判定，可全自動工作。已經(jīng)積累了在多個客戶的量產(chǎn)線上連續(xù)運轉(zhuǎn)的實際業(yè)績，獲得了高度的評價。
晶圓檢查專用機 WAFER LINE特點規(guī)格：
根據(jù)您的要求，還可制作以下規(guī)格的裝置。
· 半導(dǎo)體前工序的生產(chǎn)線設(shè)置用
裝置內(nèi)處理室清潔度3級(ISO)以上（在潔凈室內(nèi)組裝裝置）。
SUS箱體、支持FOUP。
· 晶圓檢查專用機 WAFER LINE高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點探頭設(shè)備相比，電子掃描式陣列探頭設(shè)備可以做到高速顯示。
（機械部分的運動少，也有助于保持清潔度）
支持晶圓 | 4～12英寸晶圓 |