光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列 返回列表頁

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列

更小的測量盲區(qū)

更高精度的尺寸及位移復現能力

高靈敏度光學非接觸測量

多膜層/多層玻璃測厚能力

同軸式測量配置，避免了激光三角傳感器的角度限制，縮小測量盲區(qū)，

適合復雜細微結構（如深溝槽結構等）的測量。

針對光譜共焦位移傳感器研制開發(fā)的HC-CC物鏡采用近十片鏡片，能夠實現最小10微米的成像光斑，同時提高測量線性精度。

針對光譜共焦位移傳感器定制開發(fā)的雜散光抑制優(yōu)化光譜儀以及高亮度彩色激光光源，都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度，能夠對表面返回的極弱的光強（如薄膜等透明物體）完成測量。

光譜共焦傳感器適合各種材料的測量，并能確保對不同材料的測量性能，同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。

抗干擾模塊化探頭

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測量現場的探頭是純光學器件，通過光纖與控制器連接