測量原理：質(zhì)量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果。質(zhì)量流量計是一個較為準(zhǔn)確、快速、可靠、高效、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測同時又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成一個閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機(jī)、PLC提供。
1、質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢：
?。ǎ保╈`敏度高：熱式傳感器對溫度的變化非常敏感，因此非常易于測量；
?。ǎ玻┕牡停阂驗槌叽绾透袦夭牧系牟粩鄡?yōu)化，傳感器的功耗越來越低；
?。ǎ常┏叽缧。含F(xiàn)在的熱式傳感器結(jié)構(gòu)因為采用ＭＥＭＳ工藝，一般是厘米或者微米級；
?。ǎ矗┝砍檀螅簻y量下限很低，可以測量微小流量；
?。ǎ担┘啥雀撸航Y(jié)合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號處理電路集成到一起；
（６）結(jié)構(gòu)簡單：硅基片上結(jié)構(gòu)包裝后方便安裝在需要的設(shè)備上；
?。ǎ罚┏杀镜停嚎梢越Y(jié)合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。
2、質(zhì)量流量傳感器劣勢：
?。ǎ保y量氣體組分單一：當(dāng)氣體種類改變時，不同氣體的導(dǎo)熱系數(shù)、粘度、比熱容都有差別，測量時會帶來較大的誤差；
?。ǎ玻┮髿怏w干燥無污染：濕度較大的氣體對傳感器表面的熱量交換有影響，進(jìn)而影響到輸出結(jié)果；顆粒物對傳感器的輸出結(jié)果也有影響。
