低溫磁控濺射儀 返回列表頁

低溫磁控濺射儀特點(diǎn)

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識；

4.真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；

7.結(jié)構(gòu)簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；

8.自動真空的進(jìn)排氣，關(guān)機(jī)自動放棄（標(biāo)準(zhǔn)版手動放氣）；

9.優(yōu)化機(jī)型外觀，整潔大方，體積靈巧；

10.數(shù)字方式定時，0-9999秒?yún)^(qū)間自主調(diào)節(jié)；

11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；

12.升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，更換樣品方便快捷；

13.采用定制“凹"密封，更加方便操作；

14.增大樣品處理室空間，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；

15.定制型真空泵排氣過濾器；

16.獨(dú)立式升降樣品臺組件（標(biāo)準(zhǔn)為2支柱緊固型）。

低溫磁控濺射儀參數(shù)

●石英處理室：Φ150mm,高度110mm；

●濺射類型：冷陰極磁控型二級濺射；

●樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選；

●可升降和手動旋轉(zhuǎn)；

●樣品更換：升降式上翻蓋結(jié)構(gòu)，上蓋打開可獨(dú)立支撐；

●靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）；

●真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S；

●真空檢測：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；

●真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；

●真空泄壓：自動進(jìn)排氣（無需手動放氣閥）。