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目錄:深圳市奧德賽創(chuàng)精密儀器有限公司>>美國(guó)SRS>>真空檢測(cè)設(shè)備>> CIS 系列封閉式離子源分析儀

CIS 系列封閉式離子源分析儀
  • CIS 系列封閉式離子源分析儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 深圳市
屬性

應(yīng)用領(lǐng)域:醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合

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更新時(shí)間:2025-03-20 21:34:50瀏覽次數(shù):1267評(píng)價(jià)

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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合
CIS 系列封閉式離子源分析儀 憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測(cè)限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶(hù)友好的 Windows 軟件包,CIS 系統(tǒng)將滿(mǎn)足您*苛刻的應(yīng)用。在線(xiàn)過(guò)程監(jiān)測(cè)和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過(guò)程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過(guò)程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)*不可少的一些領(lǐng)域。

CIS 系列封閉式離子源分析儀

憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測(cè)限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶(hù)友好的 Windows 軟件包,CIS 系統(tǒng)將滿(mǎn)足您*苛刻的應(yīng)用。在線(xiàn)過(guò)程監(jiān)測(cè)和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過(guò)程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過(guò)程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)*不可少的一些領(lǐng)域。

緊湊型設(shè)計(jì)

鍍金離子發(fā)生器

該探頭由一個(gè)四極質(zhì)譜儀和一個(gè)安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成。控制單元直接安裝在探頭的饋通法蘭上,并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備。CIS 接頭的側(cè)面端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測(cè)器保持在高真空狀態(tài)的差動(dòng)泵系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)可以通過(guò)其標(biāo)準(zhǔn) CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到工藝室。該裝置是自對(duì)準(zhǔn)的,具有簡(jiǎn)單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。您可以清潔和重新組裝探頭,并在現(xiàn)場(chǎng)更換燈絲和電子倍增器,而無(wú)需致電工廠。

鍍金離子發(fā)生器

整個(gè)離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號(hào),提高了長(zhǎng)期穩(wěn)定性,并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時(shí)進(jìn)行操作。使用鎢絲,可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體,并延長(zhǎng)使用壽命。電離器的封閉(氣密)設(shè)計(jì)可防止常見(jiàn)的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會(huì)產(chǎn)生沒(méi)有光譜重疊的峰。

探測(cè)器的選擇

CIS 系列分析儀標(biāo)配法拉第杯檢測(cè)器(10 ppm 檢測(cè))和連續(xù)打拿極電子倍增器(1 ppm 檢測(cè))。該軟件允許您在檢測(cè)器之間輕松切換。

電子倍增器

多功能性

CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式"。在這種模式下,裝置具有較低的*小可檢測(cè)分壓,但也具有較低的*大工作壓力。例如,RGA 模式用于濺射工藝的**階段,此時(shí)腔室被抽空至低壓,并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式,以便在較高壓力下直接采樣。

*全可編程性

提供標(biāo)準(zhǔn) RS-232 接口以及完整的編程參考??梢钥刂坪捅O(jiān)控所有探頭參數(shù),并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序。

視窗軟件

模擬模式

CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是*全交互式的,使用戶(hù)可以*全控制圖形顯示??刹鸱制聊贿M(jìn)行雙模式操作,刻度可設(shè)置為線(xiàn)性或?qū)?shù)格式,數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù),或按給定時(shí)間間隔計(jì)劃采集數(shù)據(jù),以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶(hù)可選擇的單位(ppm、Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視頻警報(bào)以及全*的在線(xiàn)幫助。該軟件允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析,數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存,以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小D形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù),使臨時(shí)用戶(hù)無(wú)法更改重要設(shè)置。

可選的獨(dú)立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒(méi)有主機(jī)的情況下控制 RGA。

壓力與時(shí)間

多頭操作

當(dāng)需要多個(gè) CIS 時(shí),該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。

泵送要求

CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統(tǒng)。連接端口是一個(gè) 2.75" Conflat ® 法蘭。選項(xiàng) O100TDP 提供一個(gè)渦輪泵,它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 泵頭上。訂購(gòu)此選項(xiàng)時(shí),整個(gè)分析儀都在工廠組裝、測(cè)試和校準(zhǔn)。用戶(hù)可以提供自己的泵站;但是,用戶(hù)有責(zé)任確保泵系統(tǒng)不會(huì)損壞或限制儀器的性能。

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能

圖書(shū)館模式

SRS CIS 系統(tǒng)以競(jìng)爭(zhēng)模型的一小部分成本提供**的性能。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括法拉第杯探測(cè)器、電子倍增器探測(cè)器和 Windows 軟件。選項(xiàng)包括用于交流線(xiàn)路操作的內(nèi)置電源模塊,以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。


獨(dú)聯(lián)體尺寸圖





獨(dú)聯(lián)體參數(shù)范圍獨(dú)聯(lián)體模式RGA模式
電子發(fā)射電流 (mA)0到10.050.5
電子能量 (eV)25 至 10570 或 3570
離子能量 (eV)4 或 84 或 84 或 8
提取電壓 (V)0 到 -150-50(典型值)-50(典型值)
靈敏度 (A/Torr)
(對(duì)于 N 2 @28 amu)

10 -610 -5
線(xiàn)性范圍上限 (Torr)
2×10 -310 -4
MDPP (托)
10 -810 -9

筆記


1. CIS 測(cè)試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進(jìn)行,由隔膜泵支持,連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報(bào)告的 RGA 模式靈敏度是針對(duì)低于 10 -5  Torr的 N 2
計(jì)算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對(duì) N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計(jì)算的。4. MDPP(*小可檢測(cè)分壓)通過(guò)在 10 -5(RGA 模式)和 10 -3存在28 N 2 的情況下測(cè)量法拉第杯檢測(cè)的基線(xiàn)水平來(lái)確定

 托(CIS 模式)。當(dāng)電子倍增器打開(kāi)時(shí),可檢測(cè)性可提高多達(dá) 3 個(gè)數(shù)量級(jí)。


CIS 系列規(guī)格

操作

質(zhì)量范圍
     CIS1001 到 100 amu
     CIS2001 到 200 amu
     CIS3001 至 300 amu
質(zhì)量過(guò)濾器類(lèi)型四極桿
探測(cè)器類(lèi)型法拉第杯和電子倍增器
解析度優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3)。在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。
*大限度。工作溫度70℃
烘烤溫度300 °C(不帶 ECU)

離子發(fā)生器

設(shè)計(jì)封閉離子源,圓柱對(duì)稱(chēng),電子碰撞電離
材料鍍金 SS304
燈絲鎢或 ThO 2 /Ir 帶固件保護(hù)(現(xiàn)場(chǎng)可更換)
電子能量 25 至 105 eV,可編程
離子能量4 或 8 eV,可編程
聚焦電壓0 至 150 V,可編程
電子發(fā)射電流0 至 1 mA,可編程

一般的

探頭安裝法蘭2.75" CF
ECU尺寸4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)??奢p松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。
LED指示燈電源開(kāi)/關(guān)、燈絲開(kāi)/關(guān)、電子倍增器開(kāi)/關(guān)、RS-232忙、錯(cuò)誤、過(guò)壓、燈絲燒毀
熱身時(shí)間3 分鐘后峰高 ±2 %。30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu。
電腦接口RS-232C,28,800 波特,帶上等命令集
軟件基于 Windows 的應(yīng)用程序
電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公頭 DB9 連接器,可選內(nèi)置電源模塊,用于交流線(xiàn)路操作
重量6 磅。
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