超高精度直接驅(qū)動垂直線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	XMS50V	XMS100V
行程范圍	50 mm	100 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s
中心負(fù)載能力	100 N	100 N
最小位移增量	0.05 µm	0.05 µm
精度，保證值	± 0.75 µm	± 0.75 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	± 0.05 µm	± 0.05 µm
限位開關(guān)	Optical, fiducial on encoder	Optical, fiducial on encoder
原點	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
電纜長度	5 m	5 m
俯仰順應(yīng)性	2.5 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm
偏擺順應(yīng)性	3.5 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm
直線度，平面度	± 0.75 µm	± 0.75 µm
重量	3.5 kg	3.5 kg
MTBF	20,000 h	20,000 h

超高精度直接驅(qū)動垂直線性平移臺特征

超高性能電動臺技術(shù)

Newport的XM系列直線電機平臺具有優(yōu)秀的動態(tài)性能。 XMS100V垂直工作臺由安裝在高平坦度垂直板上的標(biāo)準(zhǔn)XMS100線性工作臺和連接至滑架的低摩擦氣缸組成。結(jié)果是一個垂直平臺，可為聚焦，傳感器測試和校準(zhǔn)，直接激光光刻，光纖對準(zhǔn)，超精密組裝等應(yīng)用提供超高精度和長行程。該視頻演示了由XM線性和垂直平臺構(gòu)成的XYZ運動系統(tǒng)。

平衡選項

直接驅(qū)動電機、借助于平衡負(fù)載、抵消重力的影響、減輕電機的工作并具有線性電機的所有優(yōu)勢。氣動平衡選項可針對不同負(fù)載進(jìn)行調(diào)整。即使在切斷電機電源時，磁平衡選項也可防止托架向下漂移。

磁平衡

防蠕動式交叉滾子軸承

與楔形設(shè)計相比，由相配對的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導(dǎo)軌，可在高靈敏度操作中實現(xiàn)無波紋運動，同時防止罩移位。

高精密線性編碼器

高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM。該低熱膨脹標(biāo)尺的精確對準(zhǔn)和安裝使溫度變化對平移臺重復(fù)性和精度的影響降至很低。

T 形托架

在 XMS-V 上使用的 T 形托架進(jìn)行過剛度優(yōu)化，并且與使用 C 形托架設(shè)計的平移臺相比，它支持更大的懸臂負(fù)載。保持平移臺預(yù)載荷要求有改進(jìn)的剛度。

高精密平滑運動

無鐵直接驅(qū)動技術(shù)支持高動態(tài)運動，基本上沒有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導(dǎo)致持續(xù)降低和更多可重復(fù)的跳動。此外，由于沒有驅(qū)動螺絲，可實現(xiàn)高精密定位所需的無波紋運動

擴展垂直平移臺的功能

只有 XMS-V 通過更高的精度和改進(jìn)的動態(tài)運動達(dá)到垂直平移臺性能的新高度。其增強的性能可解決更廣泛的具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用。

XMS-V負(fù)載圖

免費提供計量報告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.