半導(dǎo)體微晶光刻機汞燈 返回列表頁

半導(dǎo)體微晶光刻機汞燈是一類專為微電子制造過程中的光刻環(huán)節(jié)設(shè)計的光源設(shè)備，主要應(yīng)用于集成電路、液晶顯示器和印刷電路板的生產(chǎn)。

這種汞燈通常工作在紫外線光譜范圍內(nèi)，能夠提供高亮度、特定波長的光線，以實現(xiàn)精確的圖形轉(zhuǎn)移。其類型和功能多樣化，能夠滿足不同光刻技術(shù)的需求。它的工作原理是通過瞬間高強度的紫外線照射，通過掩膜將電路圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上的光刻膠上。

這類汞燈通常采用短弧設(shè)計，能夠產(chǎn)生極其集中的光源。由于其在生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵作用，這些汞燈的設(shè)計和制造要求非常嚴(yán)格，以確保光源的穩(wěn)定性和使用壽命。例如，歐司朗（OSRAM）生產(chǎn)的HBO系列汞燈就廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域。這些燈泡具備從200W到8000W不等的不同功率，以滿足不同的生產(chǎn)需求。其優(yōu)點包括使用壽命長、光衰率低、維護方便等。