在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素,因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面,從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電荷,主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過(guò)三種方式影響生產(chǎn)率和良率,靜電荷會(huì)靜電吸引(ESA)空氣中的顆粒,從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面,以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過(guò)電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子,中和空氣和工作表面的靜電荷,從而減少靜電吸附和放電對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。
離子風(fēng)棒

特點(diǎn):

μWire AeroBar 5711靜電消除器
μWire AeroBar 5711型靜電消除器在垂直或水平位置均能保持良好性能,加上 μWire AeroBar的低調(diào)高度和長(zhǎng)度設(shè)計(jì),使其易于安裝在各種平板工具位置(例如郵筒、傳送帶和裝卸卡帶區(qū)域,以及許多后端半導(dǎo)體組裝和測(cè)試區(qū)域)。

特點(diǎn):
應(yīng)用場(chǎng)景:
由于半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)靜電極為敏感,SIMCO思美高的靜電控制產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用非常關(guān)鍵,以下是具體的應(yīng)用場(chǎng)景。
在晶圓制造過(guò)程中,離子風(fēng)槍如Top Gun可用于清潔和中和靜電,防止灰塵和其他微粒附著在晶圓表面,這可以避免因靜電吸引導(dǎo)致的污染問(wèn)題。
在芯片的組裝和封裝階段,靜電可能會(huì)損壞集成電路。使用Simco-Ion的離子發(fā)生器、離子棒或離子風(fēng)槍可以幫助消除靜電,保護(hù)敏感元件。
使用數(shù)顯靜電場(chǎng)測(cè)試儀,可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作環(huán)境中的靜電水平,確保生產(chǎn)環(huán)境處于安全靜電范圍內(nèi),并驗(yàn)證防靜電措施的有效性。
對(duì)于高度自動(dòng)化的生產(chǎn)線,可以集成帶有光控感應(yīng)開(kāi)關(guān)的離子風(fēng)槍或者安裝離子棒,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)靜電消除,保證生產(chǎn)線上的每個(gè)環(huán)節(jié)都受到靜電保護(hù)。