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日本進口Nasgiken批量晶圓整體表面蝕刻設(shè)備 BEM-310該設(shè)備使用臭氧和HF對硅晶片的整個表面進行體蝕刻。氣體蝕刻不會在晶圓表面產(chǎn)生水滴。蝕刻期間晶圓中...
日本nasgiken硅晶片氣體蝕刻設(shè)備潔凈室裝置 BEM-310該設(shè)備使用臭氧和HF對硅晶片的整個表面進行體蝕刻。氣體蝕刻不會在晶圓表面產(chǎn)生水滴。蝕刻期間晶圓中...
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