日立掃描電子顯微鏡

SU8600

高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

*設(shè)備照片包含選配項。

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術(shù)，同時還提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

特點

*高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;

在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.

自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

日立掃描電子顯微鏡

技術(shù)參數(shù)

*減速模式下