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滑動PECVD系統(tǒng)爐返回列表頁

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產(chǎn)品型號OYS-1200C-II-60-PECVD

品牌HF.weiyuansu

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地合肥市

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更新時間：2025-05-29 11:58:07瀏覽次數(shù)：525次

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	面議
儀器種類	管式爐	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,航空航天,綜合

產(chǎn)地類別

國產(chǎn)

價格區(qū)間

面議

儀器種類

管式爐

應(yīng)用領(lǐng)域

化工,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,航空航天,綜合

OYS-1200C-II-60-PECVD系統(tǒng)爐是一款中型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源，三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)（量程為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM），直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。

技術(shù)參數(shù)
規(guī)格型號	最高溫度	加熱區(qū)長度	加熱區(qū)長度	額定功率	額定電壓	外型尺寸	重量
OYS-1200C-SL	1200℃(＜0.5 h)	Φ251000mm Φ501000mm Φ601000mm Φ801000mm Φ100*1000mm	440mm(單溫區(qū))	3.1 KW	AC220V	1680mm490mm700mm	約75KG

●爐體結(jié)構(gòu)：PECVD系統(tǒng)爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度；爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，減少能量損失；內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命，帶有過熱和斷偶保護(hù)，開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性；爐子的底部安裝有一對滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

　　●控溫系統(tǒng)：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能；控溫精度±1℃；默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

　　●爐管：高純石英管φ100*1000mm，鍍鉻鋼制成的雙滑軌，手動滑軌長度1400mm。

　　●真空法蘭：

　　◎配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。

　　◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。

　　◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體。

　　◎一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監(jiān)控管道壓力。

　　◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進(jìn)氣口，出氣端配有獨(dú)立的Φ9.2mm排氣口和球閥，設(shè)備預(yù)留KF25抽氣口和KF16真空計(jì)連接口，可連接真空組件。

　　●真空組件：

　　◎配齊真空泵1臺(抽速≥16m³/h，真空度≤5.0X10-1Pa)

　　◎電阻真空計(jì)1套

　　◎手動擋板閥1個

　　◎波紋管1根

　　◎油霧過濾器1套

　　◎卡箍(型號：KF25)≥3個，以及相應(yīng)連接件

　　●極限真空度：≤1Pa(冷態(tài)空載)

　　●進(jìn)氣：

　　◎配浮子流量計(jì)1套，量程可選，安裝在設(shè)備上；

　　◎氣瓶配備氣體減壓閥1套

　　●標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管 ≥1 支，莫來石管堵 ≥1 對，不銹鋼法蘭 ≥1 套，硅膠密封圈 ≥2 套，高溫手套 ≥1 副，爐鉤 ≥1 支

　　●認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件：整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)；核心零部件有ABB電器元件，UL認(rèn)證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。

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