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當(dāng)前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>Rigaku理學(xué)>>半導(dǎo)體測量設(shè)備>> XHEMIS TX-3000半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號XHEMIS TX-3000
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-09-29 09:16:07瀏覽次數(shù)：129次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
| 檢測限LLD（E10原子/cm2） | 鋁 | 鐵 | 鎳 | 銅 |
| 發(fā)射光譜 | 14 | 0.06 | 0.06 | 0.09 |
測量時間：1000秒
| 方法 | 全內(nèi)反射X射線熒光分析（TXRF） | |
|---|---|---|
| 目的 | 快速無損測量痕量元素表面污染（Na - U） 將繪圖速度提高約 3 倍 E9 原子/cm2 的檢測極限 | |
| 技術(shù) | 高靈敏度金屬污染分析 | |
| 主要部件 | 3 探測器配置 高功率 W 對陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)對陰極） 針對輕元素、過渡元素和重元素優(yōu)化的 3 種激發(fā)能量 XYθ 樣品臺 2 個 FOUP 裝載端口 | |
| 特征 | 全晶圓映射 (SWEEPING-TXRF)、零邊緣排除 (ZEE-TXRF) | |
| 選項 | 背面分析 (BAC-TXRF)、GEM300 軟件、E84/OHT 支持 | |
| 機(jī)身尺寸 | 1280（寬）×3750（深）×2040（高） （不含監(jiān)視器和信號塔） | |
| 測量結(jié)果 | 定量結(jié)果、光譜圖、彩色等高線圖、映射表 | |
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