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當(dāng)前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>Rigaku理學(xué)>>半導(dǎo)體測量設(shè)備>> ONYX 3200玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號ONYX 3200
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-09-29 09:22:30瀏覽次數(shù)：166次
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玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
ONYX 3200 是市場上先進(jìn)的混合測量解決方案。這款第二代雙頭工具結(jié)合了先進(jìn)的 μXRF 和光學(xué)技術(shù)，可在在線半導(dǎo)體制造中提供高精度的缺陷檢測和最高的吞吐量。
ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個制造過程中提供全面的計量方法。這包括適合先進(jìn)封裝和單凸點(diǎn)應(yīng)用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。
用于過程監(jiān)控的單μbump測量
高產(chǎn)量和增加的吞吐量
準(zhǔn)確分析金屬厚度和成分
對層厚度和成分的最大敏感性
二維顯微鏡 | 二維顯微鏡放大倍數(shù) | 3D掃描儀 |
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| 測量類型 | 雙頭微點(diǎn) EDXRF 和光學(xué)檢測 (2D-3D) | |
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| 晶圓尺寸 | 最大300mm | |
| 晶圓類型 | 毯子和圖案晶圓 | |
| 導(dǎo)航 | 精密平臺輔以圖像識別算法 ，可快速亞微米導(dǎo)航至單個特征中心 | |
| 微型 XRF 光束方向 | 正入射微點(diǎn) (μXRF) | |
| 光學(xué)系統(tǒng) | “多色"（X 射線光學(xué)）和顏色“單色"（X 射線光學(xué)） | |
| 微型 XRF 束斑尺寸 | 可調(diào)范圍為 10 至 50 µm | |
| 探測器類型 | 硅漂移探測器 (SDD)：3 種配置 1. 常規(guī) > Al 2. 輕元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（針對 Ag、Sn 進(jìn)行了優(yōu)化） | |
| DPP｜數(shù)字脈沖處理器 | 超過 100 萬光子/秒的高效率 | |
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