玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具 返回列表頁(yè)

ONYX 3200 是市場(chǎng)上先進(jìn)的混合測(cè)量解決方案。這款第二代雙頭工具結(jié)合了先進(jìn)的 μXRF 和光學(xué)技術(shù)，可在在線半導(dǎo)體制造中提供高精度的缺陷檢測(cè)和最高的吞吐量。

ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個(gè)制造過(guò)程中提供全面的計(jì)量方法。這包括適合先進(jìn)封裝和單凸點(diǎn)應(yīng)用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。

優(yōu)化源性能

• 用于過(guò)程監(jiān)控的單μbump測(cè)量

• 高產(chǎn)量和增加的吞吐量

• 準(zhǔn)確分析金屬厚度和成分

• 對(duì)層厚度和成分的最大敏感性