玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度 返回列表頁

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的  射線計(jì)量解決方案

晶體管（SiGe）、LED/LD（GaN、GaAs、InP）、MEMS/傳感器（PZT、AlN）、新型存儲(chǔ)器（GST）、金屬膜、多層膜

這種*的  射線計(jì)量工具能夠在大批量生產(chǎn)中對(duì) 300 毫米（和 200 毫米）無層晶圓（從超薄單層到多層堆疊）進(jìn)行高速測(cè)量。

XTRAIA 的性能歸功于

XTRAIA XD-3200 提供：

• 使用  射線反射率 (XRR) 評(píng)估所有類型的單層和多層薄膜（非晶、多晶、外延）的厚度、密度和粗糙度。

• 高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 用于通過搖擺曲線 (RC) 和倒易空間映射 (RSM) 測(cè)量來評(píng)估外延膜的厚度、成分、應(yīng)變和結(jié)晶度。
• 可以使用 1/4× 支架測(cè)量扭轉(zhuǎn)/傾斜角和晶體取向（極點(diǎn)）。

XTRAIA XD-3200 特點(diǎn)