玉崎科學半導體設備理學Rigaku高精度測角儀 返回列表頁

采用高亮度微型X射線光源

用于透射形貌圖的Mo射線源和用于反射形貌圖的Cu射線源可以通過計算機控制進行切換。

采用特殊射線鏡光學系統(tǒng)

使用多層膜平行光束準直器生成單色/平行光束。

與晶體準直器兼容

高度平行的 X 射線束使我們能夠獲得對晶格畸變敏感的反射形貌。

切換方便

您可以通過計算機輕松地在觀察晶體內部的透射形貌圖和觀察表面附近缺陷的反射形貌圖之間進行切換。

使用高分辨率 X 射線 CCD 相機采集數(shù)字圖像。

使用形貌圖像的晶體缺陷分析軟件。

兼容各種晶圓尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。

它可以水平放置樣品，還可以自動傳輸 3、4、6、8 和 12 英寸晶圓。

自動曲率校正機制甚至可以根據(jù)曲率程度拍攝彎曲的晶體。