玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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當(dāng)前位置:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>蝕刻設(shè)備>> NLD-5700日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)NLD-5700

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-11-25 14:29:55瀏覽次數(shù):171次

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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科NLD-5700半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備



用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700

用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體(NLD)源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng)。 (采用磁中性線等離子體(NLD)的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備,由ULVAC原創(chuàng)開發(fā)。)


特征

  • 通過在潔凈室內(nèi)工作,潔凈室可以擴(kuò)展到兩個(gè)房間(NLD、磁場ICP、CCP和灰化室)。

  • NLD是一種可以在空間和時(shí)間上控制的等離子體,因此干洗很容易。

  • 實(shí)現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。

  • 我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

用途

  • 光學(xué)器件(衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等)、不均勻微透鏡。

  • 流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。


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