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HORIBA堀場全新排氣壓力控制器玉科精品優(yōu)選

參   考   價: ￥ 4500

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號FS-3000

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間：2025-02-12 10:25:40瀏覽次數(shù)：36次

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排氣壓力控制器

EC-5000 系列排氣壓力控制器可以在腔室內(nèi)保持一致的壓力，由用戶選擇。高分辨率步進電機和的蝶閥確保對任何壓力變化做出快速、靈敏的響應。

好處：

  • 適用于高真空：不銹鋼機身

  • 耐腐蝕：還提供帶 PTFE 主體的型號

  • 符合 RoHS 標準。

當排氣流量調(diào)整到最佳水平時：

  • 光刻膠分布在均勻的薄膜中

  • 防止油霧的二次沉積

  • 防止危險蒸氣的擴散。

與流量傳感器控制相比，由于光刻膠和其他污染的積累引起的靈敏度變化較小，并且消除了湍流和其他噪聲的影響，從而實現(xiàn)了穩(wěn)定、響應性的控制。


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