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CS-100F1HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀
參考價: 9800
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • CS-100F1 產品型號
  • HORIBA/堀場 品牌
  • 代理商 廠商性質
  • 深圳市 所在地

訪問次數:168更新時間:2025-02-12 14:15:34

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產品簡介
產地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產業(yè),綜合
HOBIBA堀場 CS-100F1光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀
HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀
產品介紹

HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀

HOBIBA堀場 光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀

光纖式化學溶液濃度監(jiān)測儀

CS-100F1 系列

基于光纖的在線實時化學品濃度監(jiān)測器,可測量半導體制造過程(如清潔和蝕刻)中使用的化學品。

可以獲得在線實時測量。單個濃度監(jiān)測器能夠同時測量多達四種類型(化學品或范圍),使其適用于單個晶圓清潔中的測量。

CS-151F1 系列CS-152F1 系列CS-150F1 型

測量對象
SC-1
(氨/過氧化
氫水溶液)
SC-2
(鹽酸/過氧化氫
水溶液)
SPM
(硫酸/過氧化氫
水溶液)
一個單元最多可提供 4 種化學溶液或范圍的多重監(jiān)測。
測量原理吸收光譜法
濃度計算
原理
溫度補償多變量分析
測量范圍
(質量 %)

H
2O2: 0.00% 至 5.00%
H
2O: 94.0% 至 100.0%
HCI:0.00% 至 2.00%
H
2O2:0.00% 至 2.00%
H
2O: 96.0% 至 100.0%
H2所以4:70.0% 至 96.0%
H
2O2: 0.00% 至 10.00%
H
2O: 4.0% 至 30.0%
重復性(質量 %)
(±1% 室溫內)

H
2O2: ±0.30%
H
2O: ±1.5%
HCI:±0.15%
H
2O2: ±0.15 %
H
2O: ±1.5%
H2所以4:±0.50%
H
2O2:±0.50%
H
2O: ±1.5%
?上述列表的重復性是針對單元類型的。請聯(lián)系我們了解在線比色皿類型的可重復性。
?根據測量范圍,上述列表可能會有所不同。(詳情請參閱我們的網站。
樣品溶液溫度20 到 80:(使用 Inline Cell 時)20 到 30:(使用 Cell Unit 時)
測量周期約 3 秒
LCD 和輸入的內容
• 第 1 個組件:測得的濃度值 (%) •錯誤代碼
• 第 2 個組件:測得的濃度值 (%) •并聯(lián)濃度警報輸出無效狀態(tài)
• 第 3 個組件:測得的濃度值 (%) •串行/并聯(lián)狀態(tài)
• 第 1 個和第 2 個組件:濃度警報狀態(tài) •背景補償數據
RS-232C 串行輸入• 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 • 并聯(lián)濃度報警輸出狀態(tài)
• 測量數據傳輸請求(有效/無效)
• 第 1 組分和第 2 組分濃度報警設置 • 目標測量溶液切換
并行輸入12 至 30 V DC(光電耦合器絕緣) • 并聯(lián)濃度報警輸出
• 目標測量溶液切換
• 背景補償
并行輸出集電極開路輸出(光電耦合器絕緣) • 第一成分濃度報警,4種 開啟時
最大電流: • 第二成分濃度報警,4種DC
5 mA(無內部保護電阻) • 設備錯誤
關閉時最大外加電壓:30 V DC • 測量
• 目標測量溶液類型
• 背景補償狀態(tài)
溶液溫度輸入接線端子連接(M3 端子螺釘)
• 鉑電阻溫度傳感器:Pt100(Pt100 傳感器應由客戶準備)
模擬輸出• 第 1 組分濃度警報,4 種類型:4 至 20 mA
• 第 2 組分濃度警報,4 種類型:4 至 20 mA
?我們還支持其他測量范圍。請在訂購時注明。
光纜專用 CS-100F1 系列光纜(25 ±15:安裝溫度)
樣品池我們可以為各種化學溶液提供專用樣品池(在線池或池單元)。
電源100 V 至 230 V AC(單相)±10%、50/60 Hz、約 100 VA
尺寸205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm 8.1 (W) x 13.0 (D) x 10.6 (H) 英寸(不包括突出部分)
重量約 11 kg




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