HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器

HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器

在線傳感器和自動(dòng)范圍切換濃度監(jiān)測(cè)器

HF-960EM 系列

符合半導(dǎo)體工藝衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的氫氟酸濃度監(jiān)測(cè)儀。

傳感器與 PFA（全氟烷氧基）接液部件相結(jié)合，尺寸優(yōu)化到絕對(duì)極限。它還可以處理高達(dá) 50% HF 濃度的大范圍測(cè)量，符合半導(dǎo)體工藝的衛(wèi)生要求。

寬范圍兼容

從低濃度到高濃度（高達(dá) 50% HF 濃度）的自動(dòng)量程功能可在每個(gè)目標(biāo)濃度下實(shí)現(xiàn)最佳測(cè)量性能。

無(wú)污染

采用具有衛(wèi)生結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用 PFA 作為接液材料。作為一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，它能夠測(cè)量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)品。

高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度

它實(shí)現(xiàn)了 ±0.5% FS 的重現(xiàn)精度。