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工業(yè)半導(dǎo)體三維加工系統(tǒng)Quantum X shape

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更新時間:2024-10-10 14:24:56瀏覽次數(shù):160次

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工業(yè)半導(dǎo)體三維加工系統(tǒng)Quantum X shape是綜合能力出眾的多面手。該激光光刻系統(tǒng)是
基于雙光子聚合技術(shù),配備上Nanoscribe為其量身定制的加工工
藝,使其可以完成2.5D和3D形狀的亞微米級別的細(xì)節(jié)精度和形狀
精度快速手板定制,甚至是晶圓級批量生產(chǎn)。

工業(yè)半導(dǎo)體三維加工系統(tǒng)Quantum X shape是Nanoscribe公司推出的一款高精度3D打印系統(tǒng),該系統(tǒng)基于雙光子聚合技術(shù)(2PP),在3D微納加工領(lǐng)域擁有的精度和廣泛的應(yīng)用潛力。以下是對QuantumXshape產(chǎn)品的詳細(xì)介紹:

一、技術(shù)特點(diǎn)

高精度打印QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)納米尺度的打印,在任意空間方向上的特征尺度控制可達(dá)100nm,同時表面粗糙度(Ra)小于5nm。這種高精度得益于其體素調(diào)制比和超精細(xì)處理網(wǎng)格,實(shí)現(xiàn)了亞體素的尺寸控制。

高速加工:該系統(tǒng)具備超快體素控制和100nm處理網(wǎng)格的高速3D微納加工能力,結(jié)合優(yōu)良的振鏡軌道控制,保證了快速掃描速度下的軌跡準(zhǔn)確度。

自動化與智能化QuantumXshape配備了自動滴膠模組和自動化自校準(zhǔn)路徑,保證了高精度激光能量控制及定位。同時,系統(tǒng)集成的觸控屏和遠(yuǎn)程訪問軟件nanoConnectX,使得用戶可以方便地控制打印作業(yè),實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和多用戶配置。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)半導(dǎo)體三維加工系統(tǒng)Quantum X shape不僅適用于生物醫(yī)學(xué)、微光學(xué)、MEMS、微流道、表面工程學(xué)等領(lǐng)域的快速原型制作,還成為基于晶圓的小結(jié)構(gòu)單元的批量生產(chǎn)的簡易工具。其高精度和靈活性使得它在多個科研和工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

三、主要優(yōu)勢

設(shè)計(jì)自由度QuantumXshape可打印幾乎任何2.5D和3D微納結(jié)構(gòu),提供了的設(shè)計(jì)自由度。

高效生產(chǎn):該系統(tǒng)具備高效的生產(chǎn)能力,過夜效率可達(dá)200個特征結(jié)構(gòu),適用于大規(guī)模生產(chǎn)需求。

兼容性強(qiáng)QuantumXshape支持多種打印材料,包括通用高性能雙光子聚合材料以及高分子和玻璃等,同時兼容自主及第三方打印材料。

四、系統(tǒng)配置

QuantumXshape作為一款直立式打印系統(tǒng),具備光敏樹脂自動分配功能,非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片的工業(yè)批量加工制造。其先進(jìn)的激光焦點(diǎn)軌跡控制和自校準(zhǔn)程序,確保了打印作業(yè)的可靠性和準(zhǔn)確性。

五、總結(jié)

QuantumXshape是Nanoscribe公司推出的一款集高精度、高速加工、自動化與智能化于一體的3D打印系統(tǒng)。它在3D微納加工領(lǐng)域展現(xiàn)了的性能和廣泛的應(yīng)用潛力,為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供了強(qiáng)有力的支持。


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