用于 TEM 樣品制備（包括 3D 表征、橫截面成像和微加工）的等離子體聚焦離子束掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦離子束掃描電子顯微鏡或 FIB-SEM）是具有的功能，專(zhuān)用于材料科學(xué)和半導(dǎo)體應(yīng)用的顯微鏡。材料科學(xué)研究人員可以通過(guò) Helios 5 PFIB DualBeam 實(shí)現(xiàn)大體積 3D 表征、無(wú)鎵樣品制備和精確的微加工。半導(dǎo)體設(shè)備、先進(jìn)包裝技術(shù)和顯示設(shè)備的制造商通過(guò) Helios 5 PFIB DualBeam 可實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷、大面積反處理、快速樣品制備和高保真故障分析。

材料科學(xué)的主要特點(diǎn)

無(wú)鎵 STEM 和 TEM 樣品制備

由于新 PFIB 色譜柱可實(shí)現(xiàn) 500 V Xe+ 最終拋光和所有操作條件下的優(yōu)異性能，因此可以實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、無(wú)鎵  TEM 和 APT 樣品制備。

新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等離子 FIB 色譜柱 (PFIB) 實(shí)現(xiàn)高通量和高質(zhì)量的統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān) 3D 表征、橫截面成像和微加工。

低能量下具有亞納米性能

憑借具有高電流 UC+ 單色器技術(shù)的 Elstar 電子色譜柱，可以在低能量下實(shí)現(xiàn)亞納米性能，從而顯示最細(xì)致的細(xì)節(jié)信息。

先進(jìn)的功能

通過(guò) FIB/SEM 系統(tǒng)采用選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積及蝕刻功能。

短時(shí)間獲得納米級(jí)信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù)，任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶(hù)都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息。

先進(jìn)的自動(dòng)化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件最快、地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及橫截面成像。

多模式亞表面和 3D 信息

使用選配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件，訪(fǎng)問(wèn)高質(zhì)量、多模式亞表面和 3D 信息并精確定位感興趣區(qū)。

完整的樣品信息

可通過(guò)多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成檢測(cè)器獲得清晰、精確且無(wú)電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息。

無(wú)偽影成像

無(wú)偽影成像基于集成的樣品清潔度管理和專(zhuān)用成像模式，例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式。

精確的樣品導(dǎo)航

由于 150 mm 壓電載物臺(tái)和選配腔室內(nèi) Nav-Cam 導(dǎo)航具有高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，可根據(jù)具體應(yīng)用需求定制精確的樣品導(dǎo)航。

材料科學(xué)規(guī)格