簡介

ELS-F125是Elionix推出加速電壓高達125KV的電子束曝光系統(tǒng)之一，其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)

ELS-F125具有以下優(yōu)點：

l  超高書寫精度

- 5 nm 線寬精度 @ 125 kV

- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應最小化 @ 125 kV

l  高通量、均勻性好

- 超大視野書寫:500um視場下10 nm線寬

- 高束流下電子束直徑依然很小，高通量而不影響分辨率，2 nm 電子束直徑@ 1 nA

l  界面用戶友好

基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:

-簡單易用的圖案設計功能

-易于控制的電子束條件

二、主要功能

l  主要應用

納米器件的微結構

集成光學器件，如光柵，光子晶體等

NEMS結構，復雜精細結構

光刻掩模板，壓印模板

l  技術能力