上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
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MLA150-德國(guó)海德堡 無掩膜激光直寫光刻機(jī)
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更新時(shí)間:2025-07-26 23:15:21

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MLA150專屬為研發(fā)型以及中小批量生產(chǎn)的客戶而設(shè)計(jì)的激光直寫解決方案。

區(qū)別于過去傳統(tǒng)的工藝技術(shù)而開發(fā)的無掩膜激光直寫技術(shù),將設(shè)計(jì)圖形直接曝光到涂覆有光刻膠的襯底材料上;

曝光后,如果需要修改圖形結(jié)構(gòu),可以直接通過CAD軟件修改原始圖形,然后重新曝光即可,無需花費(fèi)重新制版的時(shí)間。

MLA150

優(yōu)良無掩膜激光直寫機(jī) / 光刻機(jī)

The Advanced Maskless Aligner

適合研發(fā)團(tuán)隊(duì)與中小批量生產(chǎn)的客戶

MLA150專屬為研發(fā)型以及中小批量生產(chǎn)的客戶而設(shè)計(jì)的激光直寫解決方案。

區(qū)別于過去傳統(tǒng)的工藝技術(shù)而開發(fā)的無掩膜激光直寫技術(shù),將設(shè)計(jì)圖形直接曝光到涂覆有光刻膠的襯底材料上;

曝光后,如果需要修改圖形結(jié)構(gòu),可以直接通過CAD軟件修改原始圖形,然后重新曝光即可,無需花費(fèi)重新制版的時(shí)間。

主要產(chǎn)業(yè)應(yīng)用有:生命科學(xué)、微流體、MEMS、微光學(xué)、傳感器、材料研究等有微納米結(jié)構(gòu)需求的科研領(lǐng)域。




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