中科科儀掃描電鏡
簡(jiǎn)介
掃描電鏡作為一種通用大型科學(xué)儀器，是人類(lèi)認(rèn)識(shí)、探索微觀重要的工具，是肉眼觀察和光學(xué)顯微鏡觀測(cè)的延伸。人類(lèi)眼睛的分辨率大約0.2毫米，可以看到一根頭發(fā)絲的粗細(xì)、一張紙的厚度；借助于光學(xué)顯微鏡可以看到0.2微米的這個(gè)尺度，可以看到細(xì)胞、細(xì)菌的結(jié)構(gòu)等；而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級(jí)尺度，可以觀測(cè)到病毒、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等。
掃描電鏡廣泛應(yīng)用到材料科學(xué)、生命科學(xué)、航天航空、環(huán)境保護(hù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測(cè)以及微區(qū)成分分析問(wèn)題，為我國(guó)前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。
KYKY-EM6 900 鎢燈絲掃描電鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)
具備較高分辨率，滿(mǎn)足大多數(shù)樣品的微觀形貌測(cè)試
翻開(kāi)式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極，更換燈絲方便
成像效果優(yōu)良，細(xì)節(jié)清晰，景深大
樣品倉(cāng)室可多接口擴(kuò)展，滿(mǎn)足諸多原位測(cè)試，以及多功能嵌入
中英文菜單，一鍵切換
自動(dòng)功能：電子槍加熱、偏壓、對(duì)中、聚焦、亮度、對(duì)比度、消像散、像散記憶等。
自動(dòng)校正，自動(dòng)故障檢測(cè)
技術(shù)參數(shù)
分辨率 3nm@30kV（SE）
樣品臺(tái) 自動(dòng)樣品臺(tái)
加速電壓 0～30kV連續(xù)可調(diào)
探測(cè)器 高真空二次電子探測(cè)器、半導(dǎo)體四分割背散射電子探測(cè)器、CCD
燈絲 六硼化鑭（選配）
電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)
優(yōu)勢(shì)
1.分辨率高、成像質(zhì)量好
2.翻開(kāi)式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲
3.中英文操作界面，具有一鍵成像功能
4.低維護(hù)、維修成本
KYKY-EM 6900LV 鎢燈絲掃描電鏡
產(chǎn)品特點(diǎn)
具備較高分辨率，滿(mǎn)足大多數(shù)樣品的微觀形貌測(cè)試，尤其適合不便噴涂導(dǎo)電膜的試樣
翻開(kāi)式槍室結(jié)構(gòu)鎢絲陰極，更換燈絲方便
結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)樣品室低真空氛圍（10-270Pa），有效降低電荷積累
成像效果優(yōu)良，細(xì)節(jié)清晰，景深大
中英文菜單，一鍵成像
易操作，低故障，適合多試樣測(cè)試
自動(dòng)功能：電子槍加熱、偏壓、對(duì)中、聚焦、亮度、對(duì)比度、消像散、像散記憶等
自動(dòng)校正，自動(dòng)故障檢測(cè)
技術(shù)參數(shù)
分辨率 3nm@30KV（SE，高真空）； 6nm@30KV（BSE，高、低真空）
放大倍率 8～300000 倍
電子槍 翻開(kāi)式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極
加速電壓 0～30kV連續(xù)可調(diào)，0-10kV步進(jìn)量為100V，10kV以上步進(jìn)量為1kV
中英文菜單 具有一鍵切換功能
低真空模式 10~270Pa，真空切換時(shí)間小于90秒
樣品臺(tái) 四軸自動(dòng)樣品臺(tái)
電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)
特性
1）具備低真空功能
2）分辨率高、成像質(zhì)量好
3）翻開(kāi)式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲
4）中英文操作界面，具有一鍵成像功能
選配件： EBL、高低溫臺(tái)、納米操作臺(tái)、拉伸臺(tái)
選配探測(cè)器： EBSD、EDS、CL
應(yīng)用領(lǐng)域
電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料、高分子、動(dòng)植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業(yè)、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。
KYKY-EM8000 性能參數(shù)
分辨率
1.5 nm(15KV); 5nm(3KV)
放大倍數(shù)
15x~500,000x
加速電壓
0 ~ 30KV
電子槍
Schottky肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
自動(dòng)調(diào)整功能
聚焦、亮度/對(duì)比度、消像散、電子束對(duì)中等
真空系統(tǒng)
高真空二次電子探測(cè)器（具備保護(hù)探測(cè)器探頭不被碰撞的功能）
行程
X0 ~ 80mmY0 ~ 60mmZ0 ~ 50mmR360°T-5° ~ 90°
探測(cè)器
SE探測(cè)器，BSE探測(cè)器（可選），X-ray能譜儀（可選），EBSD（可選）
KYKY-EM8100 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
具有高性能肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)图铀匐妷撼上瘢⒕邆涑髽悠非皇液投嗵綔y(cè)器擴(kuò)展接口，適用于多種原位測(cè)試。該設(shè)備具備長(zhǎng)時(shí)間工作的穩(wěn)定性，能直接觀測(cè)非導(dǎo)體試樣或電子束敏感試樣而無(wú)需噴鍍導(dǎo)電膜。其分辨率可達(dá)0.9nm（30kV），放大倍率高達(dá)2-3000000倍，適用于電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料等多個(gè)領(lǐng)域的研究。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
高性能肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)炼雀?、單色性好、束斑小、壽命長(zhǎng)
具備的低加速電壓成像性能
超大樣品腔室，更多擴(kuò)展接口，滿(mǎn)足多探測(cè)器、多功能聯(lián)用、多嵌入原位測(cè)試
束流穩(wěn)定，滿(mǎn)足長(zhǎng)時(shí)間工作需求
非導(dǎo)體試樣或電子束敏感試樣可不噴涂導(dǎo)電膜直接觀測(cè)
技術(shù)指標(biāo)：
分辨率 0.9nm@30KV（SE）; 3.0nm@1KV（SE） ; 2.5nm@30KV （BSE）
放大倍率 2-3000000 倍
加速電壓 0.2～30kV
電子槍 肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍
樣品臺(tái) 五軸全自動(dòng)預(yù)對(duì)中樣品臺(tái)
透鏡系統(tǒng) 多級(jí)高性能透鏡系統(tǒng)，低像差錐形物鏡
探測(cè)器 高真空二次電子探測(cè)器（具備防碰撞功能）
應(yīng)用領(lǐng)域：
電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料、高分子、動(dòng)植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業(yè)、建筑材料、化工材料、陶瓷材料
中科科儀掃描電鏡行業(yè)應(yīng)用
化工儀器網(wǎng)