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真空吸筆抗靜電系列抗靜電的需求吸筆本身表面以傳導(dǎo)性尼龍制成，可降低靜電對晶片的影響吸筆頭以傳導(dǎo)性PEEK材質(zhì)制成106到108ohms電阻率提供的靜電防護處理半導(dǎo)體5寸硅晶圓用的抗靜電真空吸筆：處理半導(dǎo)體6寸硅晶圓用的抗靜電真空吸筆：處理半導(dǎo)體8寸硅晶片用的抗靜電真空吸筆：HEPA慮心的無油真空泵：抗靜電真空管線：不會有靜電的累積避免電火花是以傳導(dǎo)性Polyurethanestmer材質(zhì)制成表面電阻率：103到106ohms/cm2體積電阻率：10到104ohms-cm使用溫度范圍：-40度到8
