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探針冷熱臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

更新時間:2025-03-10 10:51:02瀏覽次數(shù):17次

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HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P是一款專門針對半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測試而設(shè)計的產(chǎn)品。這款探針冷熱臺熱臺擁有高精度的探針位移平臺,良好的氣密性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。

HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探針冷熱臺是一款專門針對半導(dǎo)體芯片研發(fā)、測試而設(shè)計的產(chǎn)品。這款探針冷熱臺熱臺擁有高精度的探針位移平臺,良好的氣密性能和精準(zhǔn)的溫控系統(tǒng)。

 

溫度范圍: -196~600

加熱區(qū) φ27mm

探針行程: 13mm

探針位移精度 1μm

探針針尖直徑(默認(rèn)) 100μm

物鏡工作距離: 15mm

通光孔直徑: 2mm

最大升溫速率: 0~150/min 

觀察窗: φ40mm

溫控精度: 0.1

支持反射/透射模式

支持改動和定制

上位機軟件控制

 

型號

MHS300G-4P

MHS600G-4P

溫控模塊

制冷/加熱方式

液氮制冷,電阻加熱

 

溫控范圍

-196~300°C*

-196~600°C*

 

溫度穩(wěn)定性

±0.1°C

 

溫度分辨率

0.1°C

 

最大升溫速率

0~150°C/min (可定點/程序段控溫)

 

溫控方式

PID

 

溫度傳感器

PT100

光學(xué)特性

光路

反射/透射光路(可選)

 

視窗材質(zhì)

石英玻璃*

 

視窗尺寸

φ40mm*

 

視窗厚度

0.5mm*

 

物鏡工作距離

15mm*

 

透光孔

φ2mm*

電學(xué)特性

探針

移動探針模組x4 *,手動調(diào)整XYZ

 

探針行程

13mm

 

探針位移精度

1μm

 

探針接口

SMA 接口x4*

 

探針直徑

10 / 50 / 100 μm*

 

樣品臺面電位

接地(默認(rèn)接地)/電懸空/三同軸*(可選)

結(jié)構(gòu)特性

樣品臺尺寸

φ27mm*

 

樣品臺材質(zhì)

銅質(zhì)*

純銀*

 

外形尺寸

460x290x82mm*

 

樣品腔高度

12mm*

 

腔室

氣密

基本配置

冷熱臺x1、溫控系統(tǒng)x1、低溫系統(tǒng)x1、液氮罐2Lx1、循環(huán)水系統(tǒng)x1、溫控軟件

選配

電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統(tǒng)/其他定制

備注

以上為默認(rèn)參數(shù)  * 為可定制項

其他可選型號

按需求進行配置

 

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