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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特點(diǎn)
抽速高:最大抽速可達(dá) 20,000L/min,能快速抽取氣體,可滿足大負(fù)載真空需求,大大縮短抽氣時(shí)間,提高生產(chǎn)效率,適用于對(duì)抽氣速度要求高的工藝,如大型半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備、大型真空干燥設(shè)備等。
極限壓力低:極限壓力為 0.5Pa,可獲得高真空度,能滿足對(duì)真空環(huán)境要求苛刻的工藝,如高精度半導(dǎo)體光刻、電子束蒸發(fā)等工藝對(duì)真空度要求,該真空泵能提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境。
無(wú)油潔凈:采用無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),避免油污染,可確保工藝腔體潔凈無(wú)殘留。適用于對(duì)潔凈度要求高的行業(yè),如半導(dǎo)體、液晶、LED 及太陽(yáng)能光伏等,在這些行業(yè)中,微小的油滴或油蒸氣都可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。
節(jié)能環(huán)保:配備低功耗電機(jī),功率約 0.6kW。運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,降低了能耗與運(yùn)行成本;同時(shí)采用變頻驅(qū)動(dòng)(VFD)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整抽氣速度,進(jìn)一步節(jié)能,能耗較油封泵可降低 30% - 50%。
結(jié)構(gòu)緊湊:尺寸為 625×275×580mm,重量約 165kg,占地面積小,便于安裝在空間有限的設(shè)備中,適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目,可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上,不占用過(guò)多空間。
維護(hù)便捷:采用模塊化結(jié)構(gòu),檢修流程簡(jiǎn)單,無(wú)需復(fù)雜的拆卸和組裝過(guò)程,可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。維護(hù)人員可快速定位和更換故障模塊,減少設(shè)備停機(jī)維修時(shí)間,提高設(shè)備利用率。
電源適應(yīng)性強(qiáng):電源為三相 AC200 - 220V,50/60Hz,能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境,方便在不同地區(qū)和場(chǎng)合使用,無(wú)需額外配置復(fù)雜的電源轉(zhuǎn)換設(shè)備。
運(yùn)行穩(wěn)定:摩擦部件少,可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動(dòng)小,連續(xù)排氣無(wú)脈動(dòng),能為工作環(huán)境提供較好的條件,減少對(duì)工作場(chǎng)所的噪音污染和振動(dòng)干擾。
智能控制:具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示功能,可通過(guò)觸摸屏或遠(yuǎn)程接口(Modbus / 以太網(wǎng))輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù);還配備自診斷系統(tǒng),通過(guò)振動(dòng)、溫度傳感器對(duì)異常情況(如過(guò)載或異物進(jìn)入)進(jìn)行預(yù)警,并自動(dòng)停機(jī)保護(hù),方便操作人員實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理問(wèn)題。
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