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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特點(diǎn)
無(wú)油潔凈:采用無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),避免了油對(duì)工藝腔體的污染,可確保環(huán)境潔凈無(wú)殘留,適用于對(duì)潔凈度要求的半導(dǎo)體、液晶、LED 及太陽(yáng)能光伏等行業(yè)。
抽速高:最大抽速可達(dá) 10,000L/min。能快速有效地抽取氣體,可滿足中高負(fù)載的真空需求,能縮短設(shè)備的抽氣時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。
極限壓力低:極限壓力為 0.5Pa,可獲得較高的真空度,能滿足對(duì)真空環(huán)境要求苛刻的工藝需求,如高精度的半導(dǎo)體鍍膜工藝等。
節(jié)能環(huán)保:配備低功耗電機(jī),功率約 0.6kW,運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,可降低能耗與運(yùn)行成本。
結(jié)構(gòu)緊湊:尺寸為 530×230×520mm,重量約 120kg,占地面積小,便于安裝在空間有限的設(shè)備中,適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目。
維護(hù)便捷:采用模塊化結(jié)構(gòu),檢修流程簡(jiǎn)單,無(wú)需復(fù)雜的拆卸和組裝過(guò)程,可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。
電源適應(yīng)性強(qiáng):電源為三相 AC200–220V,50/60Hz,能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境,方便在不同地區(qū)和場(chǎng)合使用。
運(yùn)行穩(wěn)定:摩擦部件少,可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),不易出現(xiàn)故障,且噪音低、振動(dòng)小,連續(xù)排氣無(wú)脈動(dòng),能為工作環(huán)境提供較好的條件。
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