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【高斯摩分享】 渦旋式干式真空泵

2025-6-3  閱讀(130)

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ULVAC愛(ài)發(fā)科

渦旋式干式真空泵

什么是渦旋式干式真空泵?

兩個(gè)形狀相同的渦旋盤(pán)在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個(gè)渦旋盤(pán)相對(duì)于另一個(gè)渦旋盤(pán)進(jìn)行相對(duì)振蕩研磨運(yùn)動(dòng)。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。

 

渦旋式干式真空泵的特點(diǎn)

 從吸入口引入的氣體通過(guò)與固定渦旋盤(pán)重疊的動(dòng)渦旋盤(pán),從渦旋盤(pán)外部向內(nèi)部被壓縮。壓縮過(guò)程通常設(shè)計(jì)為兩次或多次進(jìn)行,從而降低振動(dòng)和噪音水平。極限壓力可達(dá)1Pa。

【優(yōu)點(diǎn)】比羅茨真空泵體積更小、價(jià)格更便宜。

【缺點(diǎn)】渦旋前端的密封圈磨損。

 

渦旋式干式真空泵的工作原理

 兩個(gè)形狀相同的渦旋盤(pán)在中心位置略微偏移,使得它們的壁彼此呈線接觸,并且一個(gè)渦旋盤(pán)相對(duì)于另一個(gè)渦旋盤(pán)進(jìn)行相對(duì)振蕩研磨運(yùn)動(dòng)。被困在新月形空間中的氣體被壓縮向中心,并從中心的孔中排出。

渦旋式干式真空泵的主要應(yīng)用

 真空干燥設(shè)備、理化分析設(shè)備、真空吸附輸送設(shè)備、真空熱處理爐等。

 

應(yīng)用行業(yè):

?半導(dǎo)體制造、食品行業(yè)、藥品行業(yè)、化妝品行業(yè)、?太陽(yáng)能光伏行業(yè)、

?半導(dǎo)體:用于晶圓加工、刻蝕、薄膜沉積等環(huán)節(jié),化學(xué)氣相沉積(CVD)過(guò)程。

渦旋干泵可以實(shí)現(xiàn)真空輸送,適用于粉末、顆粒等物料的輸送。

?真空干燥與包裝?:在食品、藥品、化妝品等行業(yè)的真空冷凍干燥過(guò)程中,渦旋干泵可以有效脫水,保持產(chǎn)品形狀和質(zhì)量;同時(shí),它還用于食品、電子產(chǎn)品等領(lǐng)域的真空包裝過(guò)程,延長(zhǎng)產(chǎn)品保質(zhì)期。

?太陽(yáng)能光伏?:在太陽(yáng)能光伏行業(yè)中,渦旋干泵用于真空封裝、真空燒結(jié)等工藝,提高光伏電池的效率和穩(wěn)定性。?

?食品行業(yè)?:在食品加工中,渦旋式干式真空泵用于食品的干燥、脫水和包裝等環(huán)節(jié)。

?制藥行業(yè)?:在藥品生產(chǎn)中,渦旋式干式真空泵用于原料藥的干燥、結(jié)晶和分離等過(guò)程。

?化工行業(yè)?:在化工生產(chǎn)中,渦旋式干式真空泵用于聚合反應(yīng)、蒸餾、干燥等工藝。在聚合反應(yīng)中,該泵可以排除反應(yīng)體系中的空氣和水分,防止反應(yīng)受到干擾?。

?科研領(lǐng)域:真空鍍膜、材料科學(xué)研究中的高真空熱處理等。低溫物理實(shí)驗(yàn)、高真空環(huán)境下的化學(xué)反應(yīng)等。

環(huán)保工程:渦旋式干式真空泵用于廢氣處理和真空吸附過(guò)程,去除有害氣體和污染物。


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