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差壓法（變壓法、加壓法）
這是一種通過(guò)對(duì)要檢查的物體（工件）施加氣壓，然后測(cè)量?jī)?nèi)部壓力變化來(lái)確定泄漏的方法。 準(zhǔn)備無(wú)泄漏的參考產(chǎn)品（母版），同時(shí)對(duì)工件和母版加壓。 高靈敏度差壓傳感器將泄漏引起的工件壓力變化檢測(cè)為母模中的壓力與母模中的壓力之差。
如果沒(méi)有泄漏
如果有少量泄漏
如果有大泄漏
氣密性測(cè)試儀（智能 2 回路）的作
| CHG | BAL1 | BAL2 | DET | |
|---|---|---|---|---|
| AV1（SV2） | ||||
| AV2（SV3） | ||||
| AV3（SV4） |
AV1：加壓閥
AV2：等壓閥
AV3：排氣閥
DPS： 差壓傳感器
PS：測(cè)試壓力傳感器
CHG 工藝（加壓）
關(guān)閉排氣閥 （AV3），打開增壓閥 （AV1），并將測(cè)試壓力封閉到回路中。
BAL1 工藝（同量異位）
關(guān)閉增壓閥 （AV1） 并通過(guò)主站和工件之間的連續(xù)性來(lái)穩(wěn)定它。
BAL2 過(guò)程 （平衡）
關(guān)閉等壓閥 （AV2） 并在關(guān)閉主件和工件之間的距離的情況下將其穩(wěn)定。 在此過(guò)程中檢測(cè)到大量泄漏。
DET 進(jìn)程（檢測(cè)）
采用電氣自動(dòng)歸零來(lái)檢測(cè)小泄漏。 這就是漂移校正功能發(fā)揮作用的地方。
由于泄漏導(dǎo)致工件內(nèi)部壓力的變化
在平衡和檢測(cè)過(guò)程中，在自動(dòng)歸零作后每 0.1 秒計(jì)算一次泄漏引起的壓差 ΔP，并以泄漏量（泄漏率 mL/min 等）為單位顯示。
如果泄漏量的顯示在檢測(cè)過(guò)程中沒(méi)有變化并且變得恒定，則不需要進(jìn)一步的檢測(cè)時(shí)間。
