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日本FLUORO福樂適用于微小玻璃片和晶元的吸嘴吸盤

2025-4-10  閱讀(197)

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它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。

●無需設(shè)置單獨(dú)的泵進(jìn)行吸入和排出,而是在一個(gè)系統(tǒng)中兼用,因此可以實(shí)現(xiàn)緊湊的機(jī)身。

●由于該結(jié)構(gòu)將吸入和排出兩個(gè)回路連接到一個(gè)組合連接器(雙管),因此只需一根管子即可吸入和排出。

四、應(yīng)用領(lǐng)域

▌ 半導(dǎo)體制造

  • 晶圓蝕刻(10?? mbar超高真空)

  • 鍍膜設(shè)備(分子泵+低溫泵組合)

▌ 醫(yī)療設(shè)備

  • MRI超導(dǎo)磁體抽真空

  • 真空冷凍干燥機(jī)(-80℃工況)

▌ 科研實(shí)驗(yàn)

  • 粒子加速器(10?1? mbar)

  • 太空環(huán)境模擬艙

▌ 工業(yè)產(chǎn)線

  • 食品真空包裝(10?2 mbar)

  • 鋰電池注液除氣泡

  • 技術(shù)趨勢(shì)

  • 智能化:AI預(yù)測(cè)性維護(hù)(準(zhǔn)確率>95%)

  • 微型化:MEMS真空泵(芯片級(jí)尺寸)

  • 綠色技術(shù):無氟潤(rùn)滑劑應(yīng)用

  • 混合系統(tǒng):渦旋+吸附泵復(fù)合抽氣

  • 結(jié)論:真空泵作為現(xiàn)代工業(yè)的"真空心臟",其技術(shù)發(fā)展直接推動(dòng)半導(dǎo)體、新能源等產(chǎn)業(yè)進(jìn)步。干式、節(jié)能、智能化將成為未來主流方向。

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