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VENN桃太郎半導(dǎo)體流體閥 高潔凈度
VENN 桃太郎半導(dǎo)體 SL-38 流體閥，是專(zhuān)為半導(dǎo)體制造高潔凈需求設(shè)計(jì)的精密控制設(shè)備，憑借嚴(yán)苛的潔凈工藝與材質(zhì)選擇，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓清洗、光刻膠涂覆、高純氣體輸送等核心環(huán)節(jié)的流體控制需求，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的潔凈環(huán)境提供可靠保障。?
在高潔凈度實(shí)現(xiàn)上，該閥門(mén)從材質(zhì)到工藝全程對(duì)標(biāo)半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：閥體采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光處理，表面粗糙度 Ra≤0.
VENN桃太郎半導(dǎo)體流體閥 高潔凈度
VENN桃太郎半導(dǎo)體流體閥 高潔凈度
VENN 桃太郎半導(dǎo)體 SL-38 流體閥，是專(zhuān)為半導(dǎo)體制造高潔凈需求設(shè)計(jì)的精密控制設(shè)備，憑借嚴(yán)苛的潔凈工藝與材質(zhì)選擇，可滿(mǎn)足半導(dǎo)體晶圓清洗、光刻膠涂覆、高純氣體輸送等核心環(huán)節(jié)的流體控制需求，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的潔凈環(huán)境提供可靠保障。
在高潔凈度實(shí)現(xiàn)上，該閥門(mén)從材質(zhì)到工藝全程對(duì)標(biāo)半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：閥體采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，經(jīng)電解拋光處理，表面粗糙度 Ra≤0.2μm，有效減少流體滯留死角，避免雜質(zhì)吸附；密封件選用全氟醚橡膠（FFKM），具備優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性與低析出特性，長(zhǎng)期接觸高純?cè)噭ㄈ鐨浞帷惐迹o(wú)微粒脫落，符合 SEMICON F47 潔凈標(biāo)準(zhǔn)，可適配 Class 1 級(jí)潔凈車(chē)間使用。同時(shí)，閥門(mén)內(nèi)部流道采用流線(xiàn)型設(shè)計(jì)，無(wú)直角拐彎與臺(tái)階結(jié)構(gòu)，流體通過(guò)時(shí)無(wú)湍流產(chǎn)生，減少因流道不規(guī)則導(dǎo)致的雜質(zhì)堆積，進(jìn)一步保障傳輸介質(zhì)潔凈度。
性能上，SL-38 流體閥兼具精準(zhǔn)控制與穩(wěn)定運(yùn)行優(yōu)勢(shì)：采用先導(dǎo)式啟閉結(jié)構(gòu)，響應(yīng)時(shí)間≤0.1 秒，可實(shí)現(xiàn)高頻次精準(zhǔn)通斷，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)中流體劑量控制需求；調(diào)壓范圍覆蓋 0.05-1.0MPa，能穩(wěn)定適配高純氮?dú)?、氧氣等半?dǎo)體制造常用氣體，以及光刻膠、顯影液等液體介質(zhì)傳輸，且泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，避免介質(zhì)交叉污染。此外，閥門(mén)采用無(wú)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，杜絕傳統(tǒng)潤(rùn)滑油脂可能帶來(lái)的微粒污染，后期維護(hù)時(shí)僅需常規(guī)清潔，無(wú)需拆解復(fù)雜部件，減少潔凈車(chē)間內(nèi)的維護(hù)污染風(fēng)險(xiǎn)。
應(yīng)用場(chǎng)景方面，其廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備（如單片清洗機(jī)流體控制）、薄膜沉積工藝（CVD 設(shè)備高純氣體輸送）、光刻工序（光刻膠精準(zhǔn)分配）等環(huán)節(jié)。產(chǎn)品出廠(chǎng)前需經(jīng)過(guò) 100% 氦質(zhì)譜檢漏與潔凈度檢測(cè)，附帶詳細(xì)潔凈認(rèn)證報(bào)告，安裝時(shí)可直接接入半導(dǎo)體自動(dòng)化管路系統(tǒng)，無(wú)需額外潔凈處理，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的高效、潔凈運(yùn)行提供關(guān)鍵流體控制支撐。
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