OHKURA大倉 MF5111B 質(zhì)量流量計(jì)
OHKURA大倉 MF5111B 質(zhì)量流量計(jì)
MF5100B 系列是集易用性和高性能于一體的質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，包括寬流量范圍、高溫度穩(wěn)定性和三種模式的軟啟動(dòng)功能。
特征
■寬流量
范圍 我們提供廣泛的流量范圍，從最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性：
通過集成各個(gè)電路并優(yōu)化機(jī)械系統(tǒng)，我們?cè)诰o湊的尺寸下實(shí)現(xiàn)了高可靠性。
■軟啟動(dòng)功能：
內(nèi)置軟啟動(dòng)功能提供可調(diào)節(jié)的線性啟動(dòng)時(shí)間（最長(zhǎng) 70 秒），并可在三種模式下運(yùn)行（更改設(shè)置時(shí)、通電時(shí)以及外部閥門關(guān)閉后再打開時(shí)）。
■高穩(wěn)定性：
溫度穩(wěn)定性為 0.05%/°C，泄漏標(biāo)準(zhǔn)最高可達(dá) 1×10-10 Pa ·m3 / s (He)。
*有關(guān)規(guī)格，請(qǐng)參閱規(guī)格表。
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質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器/
MF1100B
◆ 下載
規(guī)格表（第 3 版）
MF1100B系列是一款高性能、低成本的質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器。它提供15個(gè)流量量程，從5 SCCM到20 SLM，可輕松用于從分析到工業(yè)用途的廣泛應(yīng)用。
特征
■高可靠性
內(nèi)部電路集成，確?？煽啃院途o湊性。
■高兼容性
可使用與本公司MF5100B系列相同的配管接頭、電源、設(shè)定器。
■豐富的外圍設(shè)備
提供指示燈、設(shè)定器、電源、帶接頭電纜等外圍設(shè)備。
規(guī)格
模型
質(zhì)量流量計(jì)
質(zhì)量流量控制器
標(biāo)準(zhǔn)范圍
低價(jià)商品
通用產(chǎn)品
低價(jià)商品
通用產(chǎn)品
控制范圍
MF1121B
MF1111B
MF1171B（常閉）
MF1181B（常開）
MF1141B（常閉）
MF1151B（常開）
準(zhǔn)確度評(píng)級(jí)
0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃
控制范圍
-
2-100%滿量程
準(zhǔn)確度評(píng)級(jí)
±2%FS以下
±1.5%FS以下
±2%FS以下
±1.5%FS以下
線性
±1%FS以下
±0.7%FS以下
±1%FS以下
±0.7%FS以下
可重復(fù)性
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
響應(yīng)時(shí)間
輸出電壓在約3秒內(nèi)收斂到設(shè)定值的±2%FS以內(nèi)。
最大工作壓力
1.0兆帕
耐壓性
1.5兆帕
壓力損失
5.0千帕
工作壓差
-
5SCCM~5SLM：34~275kPa
10~20SLM：69~275kPa
流量設(shè)定
-
0至5V直流
0 至 5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）
1 至 5V DC（可選）
輸出信號(hào)
0至5V直流
0 至 5V DC（標(biāo)準(zhǔn)）
1 至 5V DC（可選）
工作溫度范圍
5至45°C（與氣體溫度相同）
安裝位置錯(cuò)誤
±0.5%FS以下（安裝方向自由）
泄漏標(biāo)準(zhǔn)
1.013×10 -9?m 3 /s(He)以下（標(biāo)準(zhǔn)）
管道連接
1/4 Swagelok（標(biāo)準(zhǔn)），VCR（可選）
氣體接觸材料
SUS316、氟橡膠
SUS316、氟橡膠、氟樹脂
大量的
約680克
約800克
功耗
1VA或更低
3VA或更低
我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：
代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森
優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)
SURUGA駿河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO東京計(jì)裝
Düsen-德國(guó) Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 ?Bettersizer丹東百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA橫河 shimadzu島津 SIBATA柴田科學(xué) NICHIRYO立洋 東麗TORAY BANNER邦納 Mitutoyo三豐 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓達(dá) 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 會(huì)田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士電機(jī)Fuji 德國(guó)DIAS HIOKI日置 美國(guó)checkline 美國(guó)Sutter VACUUBRAND德國(guó) INFICON英富康 東方馬達(dá)ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美國(guó)advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克
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